【英语版】国际标准 ISO/TR 18394:2006 EN Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Derivation of chemical information 表面化学分析 欧杰电子能谱 化学信息的推导.pdf

ISO/TR18394:2006ENSurfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopy—Derivationofchemicalinformation的详细解释是：这是一个技术报告（Technicalreport）ISO/TR是国际标准化组织ISO下的技术报告（Technicalreport）标准的编号格式，其中ISO/表示ISO下属的相关技术委员会。18394则是指这个报告的技术委员会的具体编号。标准全文通常涵盖了一类技术的总体介绍，规范要求，性能指标以及试验方法和参考数据等内容。该标准主要是关于表面化学分析中的Auger电子能谱分析法如何获得化学信息的具体步骤和方法。

Auger电子能谱分析法是一种表面化学分析方法，其原理是基于材料表面元素的原子序数与该元素在Auger电子能级过程中的能量和数量之间的特定关系。通过对表面散射的Auger电子进行收集和分析，可以确定材料表面的元素种类和浓度。这个分析方法通常与扫描电子显微镜（SEM）一起使用，以便提供材料的表面形貌和元素分布的信息。

在这个标准中，详细说明了如何通过Auger电子能谱分析法获取化学信息的过程，包括样品准备、实验设备、样品扫描、数据分析和结果解释等步骤。该标准还提供了有关如何准确获取化学信息的技术建议和注意事项，以确保结果的可靠性和准确性。

这个标准为使用Auger电子能谱分析法进行表面化学分析的人员提供了详细的指南和参考信息，帮助他们更好地理解和应用这个方法，并获得更准确和可靠的化学信息。