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分步重复光刻机项目安全评估报告
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分步重复光刻机项目安全评估报告
目录
TOC\o1-9概论 4
一、环境评价 4
(一)、环境评价概述 4
(二)、评价分步重复光刻机项目概况 4
(三)、环评单位的基本情况 6
(四)、评价范围及目的 7
(五)、评价依据 9
(六)、国家环保法律法规 9
(七)、地方环保规定 9
(八)、相关标准和技术规范 9
(九)、评价程序与方法 10
(十)、环境评价程序 10
(十一)、评价方法与技术路线 12
二、危险、有害因素的辨识与分析 13
(一)、辨识与分析危险、有害因素的依据 13
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