【英语版】国际标准 ISO/TTA 4:2002 EN 测量硅基底上薄膜的热导率 Measurement of thermal conductivity of thin films on silicon substrates.pdf

ISO/TGA4:2002EN测量硅基片上薄膜的热导率标准规定了测量薄膜在硅基片上热导率的方法和标准。该标准详细说明了实验设备的选择和配置、样品制备、测试条件、数据处理和分析等方面的要求。该标准旨在为薄膜热导率的测量提供一致性和可靠性的方法，以确保实验结果的准确性和可比性。在执行该标准时，需要选择适当的设备和方法，确保样品的均匀性和一致性，并在测试后对数据进行适当的处理和分析，以获得准确的热导率值。该标准是半导体行业和相关领域中用于评估薄膜材料性能的重要标准之一。

以上是ISO/TGA4:2002ENMeasurementofthermalconductivityofthinfilmsonsiliconsubstrates的详细解释。需要注意的是，执行该标准时需要按照具体实验条件和要求进行操作，以确保实验结果的准确性和可靠性。