电子陶瓷测试方法 第5部分：体积电阻率 征求意见稿.docx

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GB/T5594.5—20XX

电子陶瓷测试方法第5部分：体积电阻率

1范围

本文件规定了用直流电压法和恒流源法测量电子陶瓷体积电阻率的测试方法。

本文件适用于温度不高于1000℃时，电子陶瓷体积电阻率的测试，其中，直流电压法可测试的体积电阻率范围为4.5×104Ω·cm~1.0×1018Ω·cm，恒流源法可测试的体积电阻率范围为1.0×10-2Ω·cm~4.5×104Ω·cm。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T5593电子元器件结构陶瓷材料

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T21389游标、带表和数显卡尺

3术语和定义

GB/T5593界定的术语和定义适用于本文件。

4试验条件

环境温度为23℃±5℃,相对湿度不大于65%。

5直流电压法

5.1原理

测量电路中电子陶瓷的体积电阻，其误差主要来源于外部施加电压引起的杂散电流。试样与直流稳压电源串联形成闭环的电流回路，通过提高组成测量线路绝缘材料的绝缘电阻可减少外来寄生电压形成的杂散电流。保护栅电极吸收测试过程中的扩散电流，与主电极形成三端子电流回路，增加装置的测试稳定性。图1为在高温炉内使用保护电极测量体积电阻的示意图测试示意图。

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GB/T28947—20XX

标引序号说明：

1——直流电压源

2——皮安表3——上电极4——下电极

5——保护栅电极6——试样

7——加热炉

图1直流电压法试验装置示意图

5.2仪器设备和装置

5.2.1电源与电压

所施加电压源应为直流稳压电源，电压相对波动小于0.005%，能够满足10V、100V、500V、1000V的施加电压。如无特殊规定，推荐采用100V或500V电压。

5.2.2电极

试验用的电极材料是一类易于施加到试样上、能与试样表面紧密接触、且不至于因自身电阻而引入较大误差的导电材料，如铂或银。上电极直径为30.0mm±0.1mm，下电极直径为20.00mm±0.02mm、保护栅电极内径为25.00mm±0.02mm，保护栅电极外径为30.0mm±0.1mm。见图2。

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GB/T5594.5—20XX

标引序号说明：1——下电极

2——保护栅电极3——试样

d1——下电极直径

d2——保护栅电极内径d3——保护栅电极外径

d4——上电极直径g——电极间隙

h——试样厚度

图2电极装置

5.2.3电阻测量设备

电阻测量设备的电阻测量范围应满足103Ω~1017Ω。

5.2.4温度控制

加热炉的温度控制模式应通过程序设定。宜使用两个热电偶，一个用于测量炉温，另外一个用于直接测量试样的温度。测量试样温度用的热电偶，应放在离试样尽可能近的地方,并在测量电阻时不产生电场干扰。加热炉升温时要做好电极材料防氧化措施，如设备抽真空、充氮气、充氩气等。

加热炉的控温范围为RT~1000℃,温度偏差不超过±2℃。

5.2.5卡尺

卡尺应符合GB/T21389的规定，且分度值达到或优于0.01mm。

5.3样品制备

按GB/T5593的规定制备样品，样品测试区域厚度变化不大于样品中心处厚度值的±1.0%。

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GB/T28947—20XX

5.4试验步骤

5.4.1分别测量下电极直径d和试样厚度h，数据精确至0.01mm。

5.4.2将样品放入上电极和下电极之间，保证样品与电极之间接触良好。

5.4.3将加热炉按照5℃/min~10℃/min的升温速率，升至规定的测试温度，保温10min，

记录试验温度T。

5.4.4调节直流稳压电源的加载电压，如500V。记录电压值U；等待1min~3min，电阻测

量设备示数稳定后，记录电阻值R。

5.5结果计算

5.5.1体积电阻率的计算

样品的体积电阻率按照公式（1）计算：

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……（1）

式中：

ρ——试样的体积电阻率，单位为欧姆每厘米(Ω·cm）；h——试样的厚度，单位为厘米（cm）；

d——试样的测量电极直径，单位为厘米（cm）；R——试