S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(维护版).docxVIP

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日立扫描电子显微镜（SEM）维护手册

S-4800

每一个月检查冷却循环水，及时记录水面是否下降并补充。换水以及清洗过滤网（频率：1年1次以上）

空气压缩机的维护（频率：半个月一次，1个月1次以上）压缩机内部排水

机械泵、干泵的维护（频率：半年1次以上（机械泵），1年1次（油泵））

机械泵：半年1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机→交换油→开机

油泵：1年1次，委托服务人员维护保养。

烘烤与机械对中（频率：1年1次以上）

烘烤

关闭电脑，前面板Display，和循环水。

拧开X轴向的两个小螺丝，取下最上端的电磁罩

松开电子枪的螺纹盖，取下电子枪套入左侧两个圆环处。注意手不要碰到电子枪内壳

松开Y轴向两个螺丝，注意用手掩护防止螺丝往里掉。取下镜筒罩。

拿烘烤装置围在镜筒上，并用专用帽子盖上，拧紧螺丝。

把两根内加热线插入电子枪桶的两个X轴向的小凸起上，并整理好内外电线，使其不接触到加热部位，防止烧坏，并引到右侧后台的接线盖处。

松开右侧后台的接线盖，分别插入内外线插槽，用螺丝拧紧接线盖。

设置前面板，通常烘烤必须保证冷却6Hour,加热时间可变，常用8小时,且外烘烤先启动，两个小时后内烘烤才启动。故可设Mode/Bake闪动时按下select0u8(=out8hour)In6。此时转到后面板调整开关为Bake开，Display关，其他勿动。再回到前面板按下start。若无意外，烘烤设置成功，倒计时几秒后即开始。

判断烘烤是否成功开始标志：

按下start后无报警现象

烘烤镜筒部位发热

简单版烘烤流程拆下最上端电磁罩→

简单版烘烤流程

拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→取下镜筒罩→装上Outer加热器→装上Inner导线→把两队导线连接到后面板→放置高温牌提醒→前面板定时→开后面板总开关→开始烘烤→结束

机械对中

软件设置1KV，flash记下电流值

电子束光阑由1逆时针调到0，物镜可动光阑由3调到0

软件菜单栏setup/column下聚光镜condlen1、condlen2前面的勾去掉。（对话框勿关）

放入15mm空样品台，size选15mm，height选+1，z=8mm。加高压HV

选软件Align/BeamAlign可看到光斑，调节桌面操作版上的对比度（大一点）和亮度（小点），使光斑轮廓较清晰。

机械操作

用大螺丝刀（调节灯丝合轴）使光斑居中，东北西南两螺丝是X方向，西北东南是Y轴方向，通常一轴调节时先松螺丝，再同时拧紧螺丝。

把电子束光阑顺时针调到1号，调节光阑壁上的两个旋钮

物镜可动光阑顺时针调到3号，调节光阑壁上的两个旋钮

勾上软件对话框len1,再调节4个小螺丝刀，最后拧紧

再勾上len2，degauss（消磁）关闭对话框。

ABC一下，选频率2K，focus一下，先找到样品台上明显白色物质，调最小边两个小螺丝，使画面不晃动，通常紧些较好。

机械对中完毕，可进行实物测量。

紧急停电关机处理

紧急关机

在紧急情况下，按下红色EMERGENCYOFF按钮顺时针旋转到底，系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。

短时间关机：

退出PC_SEM程序→退出WindowsXP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后MultiIndicator区域显示“POFF”→关闭MAINSWITCH→关闭电源总开关。

S-4800长时间停机程序

1.先关闭HV和PC，然后关闭DISPLAY，关闭STAGE；

2.将EVACPOWER?拨到O（OFF），等待30分钟（目的：冷却物镜可动光栏）和5分钟（TMP关闭），真空系统（离子泵停下来后分子泵会停）停止。面板上显示有’P0FF’字样；

3.将IP1，IP2，IP3都拨到OFF档；

4.将关闭IP，EVAC，DISPLAY与OUTERBAKAE，然后关掉MAINbreaker;

5停止循环水机工作。

??S-4800开机程序

在操作台后面，先将MAINbreaker开关处于ON，（冲击电流会较大，可能跳闸，只需按住小白色凸起在上拨开关）同时，一边手按住RESET；

2.开IP，EVAC，DISPLAY；

3.将真空操作面板的IP1，IP2，IP3都拨到ON档；(若拨上开关后，上方对应的指示灯没亮，则打开左手侧侧面板，拧开4个螺丝，把里边的IP对应保护开关拨到on，可试几次直至前面板IP灯亮)

4.将EVACPOWER?拨到ON，注：从抽真空到完成需1小时；然后APTHEATER拨到AUTO档.

5．等样品室与离子泵的真空恢复正常后，打开循环水机；

6.开STAGE,并将DISPLAYPOWER打开，即