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SiGe-SCRESD防护器件的研究
一、引言
随着集成电路技术的飞速发展，静电放电（ESD）防护问题日益凸显。ESD事件可能对集成电路造成严重损害，因此，开发高效、可靠的ESD防护器件显得尤为重要。SiGe-SCR（硅锗可控硅整流器）ESD防护器件是近年来新兴的一种解决方案。本文将深入探讨SiGe-SCRESD防护器件的研究现状、原理、设计及优化方法，并对其性能进行评估。
二、SiGe-SCRESD防护器件的研究现状
SiGe-SCRESD防护器件利用硅锗（SiGe）材料的高耐压特性和可控硅整流器的电流导通能力，具有较高的击穿电压和较低的导通电阻。近年来，该技术在ESD防护领域取得了
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