干气密封的加工2.docx

一、干气密封主要元件的一般要求

1、?硬质材料密封环密封端面平面度不大于0.0006mm，粗糙度Ra值不大于0.2um，软质材料密封环密封端面平面度不大于0.0009mm，粗糙度Ra值不大于?0.2um，静止环密封端面与副密封O形橡胶圈接触部位表面粗糙度Ra值不大于?0.8um，旋转环两端面的平行度0.005mm。2、密封环端面不得有裂纹、杂质、气孔、磕碰等缺陷。

3、静密封O形橡胶圈槽与静密封0形橡胶圈接触部位表面粗糙度Ra值不大于1.6um。4、O形橡胶圈尺寸系列及公差按GB3452.1-2005的规定，胶料的物理化学性能要求按JB/T7757.2-2-2006的规定,O形橡胶圈可采用高于GB3452.1-2005及JB/T7757.2-2006的国外标准0形橡胶圈。5、弹簧的技术要求应符合JB/T11107-2011的规定，同一套密封中各弹簧之间的自由高度差不大于0.5mm。6、石墨环需做气压试验，试验压力为0.3MPa持续10min不应有破裂和渗漏现象。

二、干气密封动压槽的加工技术

1、动压槽的常用加工方法干气密封与普通的机械密封相比在总体结构上并无太大区别，其中最大的特点是密封端面上开有微米级的动压槽，动压槽的加工是干气密封成败的关键技术之一。动压槽的加工方法主要有光刻法、电火花加工、电镀法、喷砂法、激光刻槽法等。1）光刻法（化学腐蚀）在被刻槽的工件上涂以感光胶膜，然后将事先准备好的底片放于其上，经曝光、显影、涂保护层后再在蚀刻液中浸蚀，便可得到所需的动压槽。这一方法在青铜上刻槽尚可，在硬质合金上刻槽时，由于胶膜在较高温度下耐不住浸蚀液的长时间腐蚀，为此刻出的槽形质量不高。2）电火花加工（电蚀刻）此方法是利用2个电极放电的方法，将动压槽内待去除的材料电蚀刻掉，其关键环节是放电头的制作。放电头端面结构和密封环端面动压槽结构相同，但图案是突出的。密封环和放电头分别连接2个电极，当2个端面接触时，产生放电，密封环端面动压槽部位的材料即被电蚀刻掉。这一方法要求电介质性能良好、放电头端面与密封环端面要平行，以取得均匀放电的效果，否则各槽的槽深将难以保证。缺点是加工放电头困难，电蚀刻效率太低，放电头损耗较大。其次，加工成本高。而且，采用电火花加工方的动压槽效果不堪理想。再有就是电加工产生的表面应力造成的微裂纹会使材料的强度降低。3)电镀法此方法是将密封环端面动压槽以外的部位镀上一层硬质材料，从而制成动压槽的图案。这一方法的使用条件是槽的深度比较浅，其次被镀端面必须是能够电镀的材料，而且镀层要致密，和被镀面结合强度要足够髙。电镀过程中，被镀件悬挂要正确，否则不同部位的镀层厚度误差将加大，造成槽深不均匀，这样也破坏了密封端面的极髙的平行度。4)喷砂法此方法首先要制造喷砂掩膜，掩膜上开孔的图案同于动压槽结构。当掩膜置于密封件端面上时，端面上动压槽以外的部位被盖住，露出部位的材料被高能喷砂去除，形成一定深度的动压槽。这一方法的技术关键在于掩膜材料的选择、掩膜的制造、掩膜与密封环端面的贴合及喷砂工艺的掌握等。喷砂方法的问题是制造精度较低、加工的动压槽的边缘不齐、尖角等精细部位的失真严重、截面槽形不好及喷砂面粗糙等，这些都会影响槽线的流体动压效果及密封特性。

5）激光刻槽法激光加工是利用激光的高能量进行工业热加工的一种方法，激光能将材料在极短的时间内汽化、熔化而去除。与其他加工方法比较，激光刻槽法具有适用面广，对不同材料、不同形状的加工表面均适合，工件无机械变形、无污染，速度快，精度高，重复性好，自动化程度高等特点，尤其适用于浅槽加工。2、激光刻槽法加工干气动压槽方法1）激光刻槽加工动压槽的工作原理激光刻槽系统由主控箱、激光电源、声光Q开关系统、XY振镜系统、光学系统、水冷系统、软件操作系统和工作台组成。由激光电源激励连续氪弧灯，发出的光经过聚光腔辐射到Nd:YAG激光晶体上，再经过激光谐振腔共振后产生连续激光。该激光束通过声光Q开关调制后，变为近百千瓦的高峰值功率、高重复频率的脉冲激光。该脉冲激光束经扩束后镜扩束后，顺序投射到X轴、Y轴两只振镜扫描仪的反射镜上。振镜扫描仪在计算机控制下产生按程序编排的快速摆动，使激光束在平面X、Y两维方向上进行扫描，再通过“F-θ”光学聚焦透镜组使激光束聚焦在加工物体的表面形成一个个微细的、高能量密度的光斑。每一个高能量的激光脉冲瞬间就在物体表面烧蚀并且溅射出一个极细小的凹坑。经计算机控制的连续不断的这一过程，预先编排好的图形等内容就可以蚀刻在物体表面上。2）激光刻槽参数对动压槽加工的影响①激光功率的影响现有的激光刻槽的功率一般在几十瓦到几百瓦之间。试验研究表明，扫描遍数相同时，功率越大，槽越深；同一功率，扫描遍数越多，槽越深；遍