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碲化铋基薄膜的热电性能研究及器件制备.pdf

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摘要

碲化铋(Bismuthtelluride,BiTe)基薄膜热电器件作为有望解决芯片散热以及

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微电子器件电源的半导体器件一直受到关注与研究。本文从器件制备目标出发,详

细研究了影响BiTe基热电器件性能发挥的几大方面,并制备出高性能的薄膜及

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热电器件。

文章通过研究薄膜制备工艺,筛选了薄膜沉积条件与薄膜配方,选定了聚酰亚

胺衬底与Bi

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