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电容谐振式MEMS压力传感器结构设计

一、引言

随着微电子机械系统（MEMS）技术的快速发展，压力传感器在各种应用领域中发挥着重要作用。电容谐振式MEMS压力传感器作为其中一种重要的传感器类型，其结构设计直接关系到传感器的性能和可靠性。本文旨在探讨电容谐振式MEMS压力传感器的结构设计，分析其关键因素和设计原则，以期为相关研究提供参考。

二、电容谐振式MEMS压力传感器的工作原理

电容谐振式MEMS压力传感器利用电容效应和机械谐振原理进行工作。当压力作用于传感器时，其内部结构会发生形变，从而改变电容器的极板间距，导致电容值发生变化。通过测量这一变化，可以推算出外部压力的大小。因此，传感器结构设