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微型硅光集成气体传感器

一、引言

随着科技的不断进步，气体传感技术在环境保护、工业控制、医疗诊断和食品安全等领域得到了广泛应用。其中，微型硅光集成气体传感器因其体积小、响应速度快、精度高等优点，成为研究热点。本文将深入探讨微型硅光集成气体传感器的原理、结构特点、性能参数及其实用性分析。

二、微型硅光集成气体传感器的原理与结构

1.工作原理

微型硅光集成气体传感器采用光化学原理进行气体检测。当特定波长的光照射到传感器表面时，与气体分子发生相互作用，产生特定的光学信号。通过检测这些光学信号的变化，可以确定气体分子的浓度。

2.结构特点

微型硅光集成气体传感器主要由硅基底、敏感层、微光学系统、信

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