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隔墙系统规范.pdf

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    C.1.3洁净室墙

    C.1.3.1描述及地点

    洁净室的墙壁将围绕第一阶段过程区域的周长在TFT110级装，TFT2水平40，CF60级洁净

    室和1阶段支撑区域（10级，20，40，60）

    在这些地区的部分洁净室隔板应为回风竖井创造空间。

    洁净室的墙壁应进一步分离的地区，不同的洁净室类。

    洁净室的分区将是整个高度，气密模块化的墙壁。壁会附着在底部的活动地板和天花板更新

    系统在顶部。它们应包括跟在该固体和玻璃面板的安装水平和垂直分布的框架。

    分区应提供灵活的连接，以避免天花板网格，分区之间振动。

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