智能微系统的制造技术.ppt

基本原理：是用连续移动的细金属导线（称作电极丝）作为工具电极对工件进行脉冲火花放电，切割成形的。a)工件及其运动方向b)电火花线切割加工原理图第158页,共190页，星期六，2024年，5月WEDG实际上它也是一种电火花加工机，即在电火花加工中成形用的工具电极采用金属钼丝，丝沿着导轮行走（速度约为几十毫米/分），这样避免了电火花加工的电极损耗对加工精度的影响。

右图是用丝的外缘来加工电火花加工用的电极，最小加工的电极尺寸达到2.5?m。用这种方法可加工出小模数表面光洁的齿轮。用WEDG加工电火花用电极第159页,共190页，星期六，2024年，5月4、绝缘材料的加工

金属、合金、硬质合金等材料一般都可使用电火花加工。

用提高加工电压方法可加工半导体，但其加工表面存在污染问题，因此尚未达到实用阶段。

绝缘材料的电火花加工是尚须进一步研究的问题。第160页,共190页，星期六，2024年，5月5、电火花加工的局限性

由于金属电极的形状就是工件上要加工的形状，因此可以进行多种形状的加工。

例如可以根据要求加工出圆孔、方孔、三角形孔以及一定形状的糟等。

由于电极的侧面和工件之间有几个微米的间隙，因此在棱角处加工结果往往不能保证角的尖锐，即为很小的圆角。

一般用电火花加工的最小孔直径在10?m左右，深宽比约为5左右，再高的深宽比用电火花加工是困难的。

使用电火花加工也可以打斜孔，工件越薄加工越方便。第161页,共190页，星期六，2024年，5月6、影响电火花加工精度的因素

工具电极的消耗；

放电电路参数；

材质的选择。

微细电火花加工电源一般采用RC电路，如下图所示。加工面粗糙度与RC电路电容量关系第162页,共190页，星期六，2024年，5月（1）放电电路电容的影响

RC电路电容的增大，加工面的粗糙度也随之增大。

电极和工件之间的间隙也取决于RC电路电容的大小。

随着RC电路中的电容增大，电路中蓄积的电量增加，因而在放电时熔化的物质量增加，加工的物质量增大造成加工面的光洁度降低以及电极和工件的间隙增大。

因此为了得到比较好的加工精度和光洁度可以在RC电路中选用比较小的电容。

但是放电电容的降低将使加工效率降低，即加工同样尺寸的孔径需要更长的时间。第163页,共190页，星期六，2024年，5月图2－41电极和工件的间隙与RC电路电容量关系第164页,共190页，星期六，2024年，5月（2）工具电极的影响

电火花加工贯通孔时，一般进入工件入口的尺寸比电极的尺寸大且比较粗糙，而出口的尺寸和电极尺寸相近且比较光洁。

电火花加工在对工件加工的同时电极材料也随之损耗，电极的消耗对工件的电火花加工的精度也随之降低。从形状上看，棱角部分与平坦部分相比容易损耗。除此以外电极的损耗主要取决于电极和被加工的工件材料选择。第165页,共190页，星期六，2024年，5月下表为用不同尺寸的线材电极加工时长度方向的消耗量（消耗长度/孔深度）的试验结果。

由表可见当工件是硬质合金时用铜、钨和弹簧钢制作电极其消耗量较小，用铝电极的消耗量为最大。对钢工件来说钨电极的损耗最小。第166页,共190页，星期六，2024年，5月二、激光加工技术

激光能在较小的面积内聚集得到极高的能量密度，因此它具有其它加工方法所没有的优良加工性能。它与电子束加工方法的能量密度（108W/cm2）相近，具有较小的加工热影响区，它不需要真空环境；加工时不与工件接触，因而有利于实现自动化。

因此这种加工方法越来越得到微机械加工人员的注意。在微加工领域中常用的激光器有YAG激光器、CO2激光器以及准分子激光器等，其电源可以用脉冲式，也可用连续式。第167页,共190页，星期六，2024年，5月图2－42YAG激光加工机YAG激光加工机由激光发生器（包括脉冲电源）、光路聚焦系统以及载物台（包括X、Y位置移动）系统等三部分组成。

以下对几种激光微机械加工技术进行讨论。第168页,共190页，星期六，2024年，5月1、激光打孔

对于坚硬的材料来说，要打一个小孔和加工一根细缝是非常困难的，但用激光加工却非常方便。

激光打孔是利用聚焦后激光束