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基于叠层扫描相干衍射成像的特殊光学元件测量技术研究
一、引言
随着光学技术的快速发展，特殊光学元件在各种应用中发挥着越来越重要的作用。为了确保这些元件的性能和精度，准确的测量技术显得尤为重要。其中，基于叠层扫描相干衍射成像（Stacked-scanCoherentDiffractionImaging,SCDI）的测量技术，为特殊光学元件的检测与评估提供了新的手段。本文将深入探讨基于叠层扫描相干衍射成像的特殊光学元件测量技术研究，以期为相关领域的研究与应用提供参考。
二、特殊光学元件的测量需求与挑战
特殊光学元件在各种光学系统中发挥着关键作用，如透镜、反射镜、滤光片等。这些元件的性能和精
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