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改进的迈克尔逊干预仪测量薄膜厚度
迈克尔逊干预仪；力传感器；等倾干预；抵消法；薄膜厚度引言
薄膜技术是当今材料科学争论的热点，厚度是薄膜的重要物理参数，因而膜厚的测量自然成为争论材料特性格外重要的工作。对于固态薄膜，常见的膜厚测量手段主要有直接测量如螺旋测微法、显微镜法[1]，间接测量如干预法、偏振法[2]等。传统的迈克尔逊干预仪除了可以用来观看等倾干预、等厚干预和白光干预等各种干预现象[3]，也能测定薄膜厚度，但必需要求薄膜透亮且折射率。如一些文章[4-6]中介绍过利用白光干预法和干预极值法测薄膜厚度，但光路调整要求高、操作繁复，必需折射率，
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