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钴化学机械抛光中抛光液及清洗剂的研究进展
目录
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1钴化学机械抛光技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2抛光液及清洗剂在钴化学机械抛光中的重要性．．．．．．．．．．．．．．．4
1.3研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
钴化学机械抛光抛光液研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.1抛光液的组成与性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.1.1抛光液的基本组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.1.2抛光液性能影响因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.2抛光液配方优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.2.1有机溶剂的研究与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.2.2添加剂的研究与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.3新型抛光液的研究与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.3.1环保型抛光液．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.3.2高效型抛光液．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
钴化学机械抛光清洗剂研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.1清洗剂的基本组成与作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.1.1清洗剂的基本组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.1.2清洗剂在抛光过程中的作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.2清洗剂性能评价方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.2.1清洗效率评价．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
3.2.2清洁度评价．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
3.3清洗剂配方优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.3.1水基清洗剂的研究与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
3.3.2有机溶剂清洗剂的研究与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
3.4新型清洗剂的研究与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.4.1环保型清洗剂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.4.2高效型清洗剂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
抛光液与清洗剂复合体系研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
4.1复合体系的优势与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
4.2复合体系配方设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
4.2.1抛光液与清洗剂配比优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
4.2.2复合体系稳定性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
4.3复合体系在钴化学机械抛光中的应用效果．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
钴化学机械抛光中抛光液及清洗剂的环境影响与安全评价．．．．．39
5.1环境影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
5.1.1有毒有害物质排放．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
5.1.2水体污染．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
5.2安全评价．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
5.2.1健康危害．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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