JJF(皖) 98-2020 微纳米线间隔标准样板校准规范.docxVIP

(沪苏浙皖)

沪苏浙皖地方计量校准规范JJF(皖)98-2020

微纳米线间隔标准样板校准规范

CalibrationSpecificationforMicro/Nano-PitchStandards

2020-10-22发布

2020-11-15实施

上海市市场监督管理局

江苏省市场监督管理局发布

浙江省市场监督管理局安徽省市场监督管理局

JJF(皖)98-2020

微纳米线间隔标准样板校准规范

CalibrationSpecificationforMicro/Nano-PitchStandards

归口单位：上海市市场监督管理局江苏省市场监督管理局浙江省市场监督管理局安徽省市场监督管理局

主要起草单位：上海市计量测试技术研究院同济大学

参加起草单位：中国计量科学研究院

本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释

JJF(皖）98-2020

本规范主要起草人：

傅云霞（上海市计量测试技术研究院）程鑫彬（同济大学）

雷李华（上海市计量测试技术研究院）

参加起草人：

高思田（中国计量科学研究院）

魏佳斯（上海市计量测试技术研究院）

JJF(皖）98-2020

I

目录

目录 I

引言 II

1范围 1

2引用文献 1

3术语 1

3.1微纳米线间隔 1

3.2扫描探针显微镜 1

3.3计量型扫描探针显微镜 1

3.4重心间距 1

4概述 2

5计量特性 2

5.1平均线间隔 2

5.2二维线间隔的正交性 3

5.3线间隔均匀性 3

6校准条件 3

6.1环境条件 3

6.2测量标准及其他设备 3

7校准项目和校准方法 3

7.1平均线间隔 3

7.2二维栅格线的正交角度 4

7.3线间隔均匀性 5

8校准结果的表达 6

9复校时间间隔 6

附录A校准证书内容 7

附录B校准证书（内页）格式 8

附录C微纳米线间隔标准样板校准结果的测量不确定度评定 9

附录D微纳米线间隔标准样板扫描角度的确定方法 13

JJF(皖）98-2020

II

引言

JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规。

本规范为首次制定。

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1

微纳米线间隔标准样板校准规范

1范围

本规范适用于线间隔不大于100μm的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。

2引用文献

GB/T3505—2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义

及表面结构参数

GB/T10610—2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

GB/T19067.1—2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准

GB/T19067.2—2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准

注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

3术语

3.1微纳米线间隔（micro/nano-pitch）

具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100μm的周期性刻线，可以是一维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。

3.2扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope,SPM）

基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和化学特性，包括原子力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM）、扫描隧道显微镜（scanningtunnelingmicroscope，STM）等。

3.3计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope,MSPM）

具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜。比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针显微镜。

3.4