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基于MEMS技术的工业设备振动监测系统研究

目录

基于MEMS技术的工业设备振动监测系统研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．3

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究目标和内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

MEMS技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

工业设备振动监测需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

3.1工业设备振动监测的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.2目前存在的问题及挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

基于MEMS技术的振动传感器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

4.1设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

4.2典型的MEMS振动传感器结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

4.3振动信号的采集与处理方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

工业设备振动监测系统的架构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

5.1系统总体设计方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

5.2各模块功能介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

5.3系统硬件实现方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

数据处理与故障诊断算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

6.1数据预处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

6.2基于机器学习的故障诊断算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

实验验证与性能评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

7.1实验平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

7.2实验数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

7.3故障检测准确率评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

8.1主要研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

8.2展望与未来工作方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

基于MEMS技术的工业设备振动监测系统研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．32

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

1.2国内外研究现状与发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

MEMS技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.1MEMS技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.2MEMS传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

2.3MEMS技术在工业领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

工业设备振动监测系统需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.1工业设备振动监测的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.2振动监测系统的性能要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．