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ICS31.080.01
CCSL41
团体标准
T/QDASxxx—2021
二极管扩散片硼扩散液态源配方
Formulaofborondiffusionliquidsourcefordiode
diffuser
（征求意见稿）
2021-xx-xx发布2021-xx-xx实施
青岛市标准化协会发布
T/QDASxxx—2021
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
4试剂和材料1
5仪器和设备1
6三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制1
7硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制3
8硼扩散液态源配制3
附录A（规范性附录）附源工序硼源配制记录表5
I
T/QDASxxx—2021
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起
草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由青岛金汇源电子有限公司提出。
本文件由青岛市标准化协会归口。
本文件起草单位：XXX。
本文件主要起草人：XXX。
II
T/QDASxxx—2021
二极管扩散片硼扩散液态源配方
1范围
本文件规定了二极管扩散片硼扩散液态源配方的术语和定义、试剂和材料、仪器和设备、三氧化二
硼/乙二醇乙醚溶液配制、硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制和硼扩散液态源配制等内容。
本文件适用于二极管扩散片硼扩散液态源的配制。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
二极管扩散片diodediffusers
二极管产品的半成品，是单晶硅经过扩散工艺后就形成了二极管扩散片。其经过后续再加工形成二
极管芯片，经过封装形成二极管成品。
注：本标准中的二极管指的是整流二极管。
4试剂和材料
除另有说明外，所用试剂均为分析纯或电子级。
a)乙二醇乙醚（C4HO）；
4102
b)三氧化二硼（BO）；
23
c)硝酸铝（Al(NO)）；
33
d)氧化铝（AlO）。
23
5仪器和设备
a)电子秤：感量0.01g；
b)量筒（250mL）；
c)搅拌器；
d)滤纸；
e)磨口瓶（400mL和800mL）。
6三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制
1
T/QDASxxx—2021
6.1配制比例
三氧化二硼：乙二醇乙醚=120g：400mL。
6.2配制过程
6.2.1
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