二次预对准装置及对准方法.docx

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102809903A

(43)申请公布日2012.12.05

(21)申请号CN201110145373.4

(22)申请日2011.05.31

(71)申请人上海微电子装备有限公司

地址201203上海市浦东新区张东路1525号

(72)发明人郑教增宋平徐伟

(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人屈蘅

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

二次预对准装置及对准方法

(57)摘要

一种二次预对准装置，设于运动台和主基板之间，用于对放置在运动台上的晶圆进行二次预对准，包括三个面阵CCD、三组光路系统和一个图像处理器，三组光路系统分别将晶圆的三处边缘图像投影到对应的面阵CCD，三组光路系统所需的光源设置在运动台的外侧，三个面阵CCD和图像处理器连接，图像处理器处理来自三个面阵CCD的晶圆边缘图像信息后计算晶圆残余偏心偏向。采用直射式原理，将光源和面阵CCD分处于晶圆的两侧，不但精度更高，且不易受安装角度的影响，而且设计光路简单，光能量耗散小。另外，光源远离投影物镜设置、物镜、主基板和运动台等对热源敏感的关键部件设置，提高本二次预对准装置的性能稳定性，进一步提高对准精度。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

权利要求说明书

1.一种二次预对准装置，设于运动台和主基板之间，用于对放置在所述运动 台上的晶圆进行二次预对准，其特征在于，包括三个面阵CCD、三组光 路系统和一个图像处理器，所述三组光路系统分别将晶圆的三处边缘图像 投影到对应的面阵CCD，所述三组光路系统所需的光源设置在所述运动 台的外侧，所述三个面阵CCD和所述图像处理器连接，所述图像处理器 处理来自所述三个面阵CCD的晶圆边缘图像信息后计算所述晶圆的残余 偏心偏向。

2.根据权利要求1所述二次预对准装置，其特征在于，每组光路系统包括接 收来自所述光源的光束的第一反射镜，所述第一反射镜和所述面阵CCD 对应设于所述晶圆一处边缘的上下两侧，所述光束经第一反射镜后将所述 晶圆的边缘图像投影到对应的面阵CCD。

3.根据权利要求2所述二次预对准装置，其特征在于，所述第一反射镜呈三 角形分布于所述运动台的内部，所述面阵CCD对应各自的第一反射镜设 于所述主基板的下方。

4.根据权利要求1所述二次预对准装置，其特征在于，每组光路系统包括接 收来自所述光源的光束的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜和第 二反射镜对应设于所述晶圆一处边缘的上下两侧，所述光束依次经过第一 反射镜和第二反射镜后将晶圆的边缘图像投影到对应的面阵CCD。

5.根据权利要求4所述二次预对准装置，其特征在于，所述第一反射镜呈三 角形分布于所述运动台的内部，所述第二反射镜对应各第一反射镜设于所 述主基板的下方，所述面阵CCD分别设于所述第二反射镜的侧方。

6.根据权利要求5所述二次预对准装置，其特征在于，所述面阵CCD分别 设于面阵安装板上，所述面阵安装板固设于所述主基板一端的下方使得所 述面阵CCD与所述第二反射镜相对。

7.根据权利要求2或4所述的二次预对准装置，其特征在于，每组光路系统 还分别包括所述光源及一光路准直机构，所述光束是由所述光源发出并经 所述光路准直机构处理后获得。

8.根据权利要求2或4所述的二次预对准装置，其特征在于，所述三组光路 系统共用所述光源及一光路对准机构。

9.根据权利要求8所述的二次预对准装置，其特征在于，所述三组光路系统 是第一组光路系统、第二组光路系统和第三组光路系统，其中，第一组光 路系统还包括2/3透光率的反射镜、第二组光路系统还包括1/2透光率的 反射镜，第三组光路系统还包括第三反射镜；所述光源发出的光束经所述 光路准直机构变成平行光束后射到2/3透光率的三角反射镜，所述2/3透 光率的三角反射镜将其中1/3光束进行发射作为所述第一组光路系统所需 的光束并将2/3光束透射到1/2透光率的反射镜，所述1/2透光率的反射 镜将收到的一半光束进行反射作为所述第二组光路系统所需的光束，并另 一半透射到所述第三反射镜作为所述第三组光路系统所需的光束。

10.一种二次预对准