碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体-征集意见稿.docx

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T/SDAMAXXXXX—202X

碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

1范围

本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、运输、贮存。

本文件适用于碳化硅质量分数含量不小于99.99%的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T4995联运通用平托盘性能要求

GB/T7968纸袋纸

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8946塑料编织袋通用技术要求GB/T10454集装袋

GB/T19077粒度分析激光衍射法

DB/T351146硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法JB/T11433普通磨料密度的测定

ISO/TS15338表面化学分析.辉光放电质谱法.操作规程

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4代号与标记

产品代号由高纯碳化硅粉体H-SiC；一般工业用途碳化硅牌号F；碳化硅粒度范围数字（240和1200）；标准编号组成。粒度范围数字前冠以牌号“F”。标记顺序为：H-SiC-F粒度范围数字标准编号。

示例：粒度范围数字为240的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体标记为：H-SiC-F240T/SDAMAXXXX－202X

5技术要求

5.1纯度和杂质元素含量

5.1.1纯度

产品纯度应符合表1的规定。

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表1产品纯度

元素

单位

含量

SiC

%

≥99.99

Si

/

主元素

C

/

主元素

5.1.2主要杂质元素含量

产品主要杂质元素应符合表2的规定。

表2主要杂质元素

元素

单位

含量

Fe

mg/kg

＜30

Al

mg/kg

＜30

Na

mg/kg

＜10

Mg

mg/kg

＜10

Ca

mg/kg

＜10

5.2粒度分布

产品各牌号粒度分布见表3。

表3各牌号粒度分布

牌号

粒度/um

D10

D50

D90

F240

25

48.0±1

＜90

F1200

2

4.0±0.5

＜10

5.3堆积密度和颗粒密度

产品各牌号堆积密度和颗粒密度见表4。

表4各牌号堆积密度和颗粒密度

牌号

堆积密度/(g/cm)

颗粒密度/(g/cm)

F240

≥1.50

≥3.12

F1200

≥0.75

≥3.12

6试验方法

6.1纯度和主要杂质元素含量

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碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体的纯度、主要杂质元素含量按ISO/TS15338规定的方法进行检验。数值修约按GB/T8170的规定执行。

6.2粒度分布

碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体的粒度分布按GB/T19077规定的方法进行检验。数值修约按GB/T8170的规定执行。

6.3堆积密度和颗粒密度

碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体的堆积密度按GB/T20316.2规定进行检验，颗粒密度按JB/T11433规定进行检验。数值修约按GB/T8170的规定执行。

7检验规则

7.1检查和验收

7.1.1碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体应由供方技术质量部门进行检验，保证产品质量符合本

文件或订货单（合同）的规定，并填写质量合格证书（合格证）。

7.1.2需方应对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单（合同）的规定

不符时，应在收到产品之日起15日内向供方提出，由供需双方协商解决。

7.2组批

由同一批次原料在同一条生产线上经相同工艺连续生产并被同时提交验收的一组产品构成，通常以

1000Kg为一批次，不足1000Kg的视为一批处理。

7.3试样的抽样

7.3.1每批产品检验抽取份样数不少于2个。

7.3.2F240规格产品每份量抽取量不少于50g，F1200规格产品每份量抽取量不少于50g。

7.3.3同一批产品的同一规格抽取的各份样之间的质量相对误差不应超过10%。

7.3.4从大袋或“桶装容器”中取样

将取样器以与水平方向成45°~60°角插人包装袋中,直到插入包装袋对角线长度的90%。然后将管旋转180°并待管充满。抽出管,注意不要转动取样器,并倒出试样。每个大袋或“桶装容器”至少取2个试样。如需要的样品较多,以上步骤可以重复多次,将取得的份样倒入盛样