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半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

1范围

本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的工作温度、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T528硫化橡胶或热塑性橡胶拉伸应力应变性能的测定

GB/T531.1硫化橡胶或热塑性橡胶压入硬度试验方法第1部分：邵氏硬度计法（邵尔硬度）

GB/T1690硫化橡胶或热塑性橡胶耐液体试验方法

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T2941橡胶物理试验方法试样制备和调节通用程序

GB/T3452.1—2005液压气动用Ο形橡胶密封圈第1部分：尺寸系列及公差

GB/T3452.2—2007液压气动用Ο形橡胶密封圈第2部分：外观质量检验规范GB/T3512硫化橡胶或热塑性橡胶热空气加速老化和耐热试验

GB/T3672.1橡胶制品的公差第1部分：尺寸公差

GB/T5721橡胶密封制品标志、包装、运输、贮存的一般规定

GB/T7759.1硫化橡胶或热塑性橡胶压缩永久变形的测定第1部分：在常温及高温条件下

GB/T7762硫化橡胶或热塑性橡胶耐臭氧龟裂静态拉伸试验

GB/T15256硫化橡胶或热塑性橡胶低温脆性的测定（多试样法）

HG/T3090模压和压出橡胶制品外观质量的一般规定

JB/T10706—2022机械密封用氟塑料全包覆橡胶O形圈

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4工作温度

产品工作温度范围为-45℃~320℃。

5技术要求

5.1外观质量

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5.1.1Ο型圈的外观质量应符合GB/T3452.2—2007中S级的要求。

5.1.2非Ο型圈模压制品、压出制品、压延胶板的外观质量应符合HG/T3090的要求。

5.2尺寸公差

5.2.1Ο型圈的尺寸和公差应符合GB/T3452.1—2005中A系列的要求。

5.2.2非Ο型圈模压制品、压出制品、压延胶板的尺寸和公差应符合GB/T3672.1的相关要求。

5.3材料物理性能

全氟醚橡胶材料的物理力学性能应符合表1的规定。

表1全氟醚橡胶材料物理力学性能

项目

要求

硬度/HA

75±5

拉伸强度/MPa

≥15

拉断伸长率/%

≥160

压缩回弹率/%（常温×24h）

压缩率5%

≥80

压缩率10%

≥78

压缩率15%

≥75

压缩永久变形（B型试样）/%

空气，100℃×48h

0～15

空气，230℃×48h

0～25

热空气老化（230℃×48h）

硬度变化/HA

-1～2

拉伸强度变化率/%

0～6

拉断伸长率变化率/%

0～8

耐液体性能

ASTM1#标准油（100℃×48h）

硬度变化/HA

-3～5

体积变化率/%

0～8

ASTM1#标准油（150℃×48h）

体积变化率/%

0～10

ASTM3#标准油（150℃×48h）

体积变化率/%

0～10

耐臭氧龟裂静态拉伸（伸长20％，50×10-8，16h，40℃)

无龟裂

脆性温度/℃

≤-40

6试验方法

6.1外观质量

采用目视法检验。

6.2尺寸公差

使用分度值不大于0.02的厚度计或游标卡尺测量。使用游标卡尺或厚度计无法测量的，可使用影像测量仪、π尺、检验工装等工具测量。

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6.3材料物理性能

6.3.1试样制备

按GB/T2941的规定进行。

6.3.2硬度

按GB/T531.1的规定进行。

6.3.3拉伸强度、拉断伸长率

按GB/T528的规定进行。

6.3.4压缩回弹率

按JB/T10706—2022中附录B的规定进行。

6.3.5压缩永久变形

按GB/T7759.1的规定进行。

6.3.6热空气老化

按GB/T3512的规定进行。

6.3.7耐液体性能

按GB/T1690的规定进行。

6.3.8耐臭氧龟裂静态拉伸

按GB/T7762的规定进行。

6.3.9脆性温度

按GB/T15256的规定进行。

7检验规则

7.1组批

同一批材料、相同工艺、连续生产的同一规格产品为一批次。

7.2