基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计.docx

第30卷第12期2017年12月

传感技术学报

CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS

Vol．30No．12Dec．2017

ResearchandDesignofHighPrecisionTemperatureandPressureSensorBasedonDataProcessing

XIEFeng，CHENGWenjin，CAOYongquan?

(The48thResearchInstituteofChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation，Changsha410111，China)

Abstract:Singletraditionaldiffusionsiliconpressuresensitiveprobeischosentomeetthehigh-precisionmeasurementrequirementsofPressureandtemperatureinthefieldofaerospace，wheretheweightmustaslightaspossible．Theoriginalcalibrationdatasofmulti-temperaturemulti-pressurepointareobtainedbymeasuringtheoutputvoltageofthesensitiveprobeunderconstantcurrentexcitation．Theinputandoutputvariablefunctionsarefittedbythemaininflu-encingfactor．Andthenthelinearorcurvefamilyinterpolationerrorcorrectionmethodisusedtoreducethefittinger-ror．Thecomprehensiveaccuracyofthepressureisincreasedfrom1．13%FSto0．05%FS，andfrom2．06%FSto0．05%FSfortemperature．Thesensorfinallymeettheuser0．05%FScomprehensiveaccuracyrequirements.

Keywords:temperatureandpressureintegratedsensor;dataprocessing;errorcorrection;curveclusterinterpolationEEACC:7230doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.011

基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计

谢锋，程文进，曹勇全?

(中国电子科技集团公司第四十八研究所，长沙410111)

摘要:为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求，传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头，实现温度和压力的复合测量。通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据。数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出变量函数。然后采用直线或曲线族的插值的误差修正方式来降低拟合误差。传感器压力综合精度从1．13%FS提高到0．05%FS的综合精度，温度综合精度从2．06%FS提高到0．05%FS的综合精度，最终满足用户0．05%FS综合精度的技术指标要求。

关键词:温压一体传感器;数据处理;误差修正;曲线簇插值

中图分类号:TPS212文献标识码:A文章编号:1004-1699(2017)12-1845-05

卫星、飞船推进剂剩余量测量是关系任务成败的重要工作，事关卫星、飞船剩余寿命预测和离轨时间选择。贮箱推进剂剩余量的测量精度具有重要意义和经济利益［1］。贮箱推进剂温度与压力是两个非常重要的遥测参数，其测量精度要求尽可能高。目前温度和压力的复合测量大多数通过温度传感器和压力传感器来集成实现。压力传感器普遍采用扩散硅敏感探头来测量，敏感探头采用现代MEMS工艺制备，探头输出特性与材料特性关系很大，因而高精度压力测量需要进行温度补偿［2］。温度补偿可以在敏感探

收稿日期:201