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一、引言
1.1研究背景与意义
在当今电子制造领域,随着电子产品不断向小型化、轻量化、高性能化方向发展,对电子器件的制造工艺提出了更高的要求。传统的电子制造工艺在面对高精度、高分辨率以及复杂结构的电子器件制造时,逐渐显露出其局限性,难以满足日益增长的市场需求。
皮秒激光技术作为一种先进的加工手段,近年来在材料加工领域得到了广泛关注和深入研究。皮秒激光具有极短的脉冲宽度(皮秒量级,1皮秒等于10^{-12}秒)和超高的峰值功率,这使得它在与材料相互作用时,能够产生独特的物理效应。在极短的时间内,皮秒激光脉冲将能量高度集中地传递给材料,避免了热量在材料中的广泛扩散,从而极大地减小了热影响区域
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