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面向直写计算光刻的三维微结构形貌校正算法研究.pdf

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    摘要I

    AbstractII

    第一章绪论1

    1.1研究背景及意义1

    1.2光刻技术发展历史2

    1.3计算光刻技术概述4

    1.4计算光刻研究现状12

    1.4.1二维计算光刻技术12

    1.4.2三维计算光刻技术14

    1.5论文研究内容及结构安排17

    第二章基于深度学习的光刻模型设计理论及

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