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基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术

目录

基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术（1）．．．．．．．．．．．．．．4

内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

原子力显微镜技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1AFM工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2AFM系统组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3AFM成像模式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

三维表面多参数检测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1三维表面形貌检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1.1三维表面形貌数据处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1.2三维表面形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.2表面粗糙度检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.2.1表面粗糙度参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.2.2表面粗糙度检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.3表面硬度检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.3.1硬度测试原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.3.2硬度检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.4表面化学成分检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.4.1化学成分检测原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.4.2化学成分检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

基于AFM的三维表面多参数检测系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

4.1系统总体设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

4.2控制系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

4.3数据采集与处理系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

4.4系统性能测试与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

实验研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

5.1实验材料与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

5.2实验结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

5.2.1三维表面形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

5.2.2表面粗糙度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

5.2.3表面硬度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

5.2.4表面化学成分分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

应用案例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

6.1案例一．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

6.2案例二．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

6.3案例三