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激光诱导前向转移复合化学沉积制备微尺度低电阻三维铜结构
目录
激光诱导前向转移复合化学沉积制备微尺度低电阻三维铜结构(1)
一、内容概览...............................................4
研究背景与意义..........................................4
国内外研究现状及发展趋势................................5
二、激光诱导前向转移技术概述...............................6
激光诱导前向转移技术原理................................7
激光诱导前向转移技术特点................................8
激光诱导前向转移技术应用领域............................9
三、复合化学沉积制备技术..................................10
复合化学沉积技术原理...................................10
沉积过程控制因素.......................................11
沉积材料特性...........................................12
四、微尺度低电阻三维铜结构制备工艺........................13
制备工艺流程...........................................14
1.1前期准备..............................................14
1.2激光诱导步骤..........................................15
1.3化学沉积步骤..........................................16
1.4后处理步骤............................................17
工艺参数优化...........................................18
制备结果分析...........................................19
五、微尺度低电阻三维铜结构性能表征........................20
结构与形貌表征.........................................21
电阻性能测试...........................................22
其他性能分析...........................................23
六、实验结果与讨论........................................24
实验结果...............................................25
结果分析...............................................25
实验结论...............................................26
七、结论与展望............................................27
研究成果总结...........................................28
研究不足之处及改进建议.................................29
对未来研究的展望与建议.................................30
激光诱导前向转移复合化学沉积制备微尺度低电阻三维铜结构(2)
内容概要...............................................31
1.1研究背景..............................................32
1.2研究意义..............................................33
1.3文献综述..............................................33
实验方法...............................................35
2.1激光诱导前向转移技术..................................36
2.1.1激
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