无尘室技术手册.pptVIP

潔淨室環境控制-室內靜壓及溼度dPTCCHCCC溫度露點INV室壓FanMC/R3FDETTEDCHWS9℃HWS35℃OAMAU除供應潔淨室之室壓條件外另負責維持潔淨室之相對溼度條件HCHWS35℃CHWS5℃AirWasher焓值Cond.溫度為什麼叫乾盤管?Drycoils盤管二次冰水12~14。C二次冰水17~19。CFFU無塵室空氣(進入乾盤管之前)

T: 22。C

RH: 45%

DP: 9.6。C無塵室空氣(進入乾盤管之後)

T: 18。C

RH: 58%

DP: 9.6。C乾其主要目的就只是降低無塵室空氣的溫度,移除無塵室產生的顯熱負載.DLP迴風區什麼是換氣次數?ACH體積Vm3HWL平均風速0.3m/s?ACH=360平均風速0.4m/s?ACH=480平均風速0.5m/s?ACH=600ACH越高,則過濾次數越多,無塵室會越乾淨,但較耗能.覆蓋率＝FFU总台数×每台FFU的面积÷无尘室内总面积FFU滿佈風速量測量測條件1.量測範圍2.量測程序2.1時間:30秒/filter2.2量測點數2.3量測流速進口FFU0.4m/s,台製FFU0.3m/s3.量測儀器vanetypeanemometerofschiltknechttype4.113andalmemo2290-7display誤差值+/-3%或同等級儀器4.驗收標準潔淨等級測試量測條件?天花板與高架地板安裝完畢?室壓正常?FFU安裝完畢?FFU洩漏測量正常?氣流調整至設計條件下1.量測範圍每一獨立潔淨等級之房間2.量測程序2.1利用particlecounter距高架地板約1.2M處量測2.2測量點數NL=√AA:面積(m2)2.3每個房間至少量測兩點3.量測儀器4.驗收標準量測條件?日光燈系統連續運轉100小時後?無塵室相關系統至少運轉時2小時及溫濕度已達穩定狀態後?量測範圍每20M2量測一點1測量點需離高架地板或地板1.2m處測量量測儀器Photometer(Luxmeter)typeGossenMetrawattMX4orequivalent量測程序1.2測量時間1min/次驗收標準依各廠建廠標準照度量測1每40m2測一點或每一獨立房間量測一點驗收標準≦60dB(A)量測程序2以噪音計逐點量測，量測高度為高架地板上1.5m之處，離牆最少3m避免干擾，每點量測約5分鐘噪音量測量測程序011每一獨立房間與相鄰房間測試1點(10min.)022測試時潔淨室內所有門均為關閉狀態03量測儀器HalstrupEMA84,Muellerorequivalent04驗收標準每一測量點之值需在15PA以上(製程區對維修區維持正壓即可)05室壓量測量測範圍每一個溫度控制區域必須量測一點且每個獨立之房間皆須量測一點量測程序1量測高度距地板上1.5m2量測時間為1小時且至少每6分鐘確認一次測值驗收標準依各廠建廠標準32145溫度及溼度測試高架地板接地阻抗測試量測範圍每10平方米1點每個房間最少3點量測程序1測試電壓100V時電阻值需≦106Ω2測試電壓500V時電阻值需≧106Ω牆板接地阻抗測試3241量測範圍每30米寬1點每個房間最少3點2測試電壓500V時電阻值需≧106Ω量測程序1測試電壓100V時電阻值需≦106Ω在美國的照明照度單位為呎燭(foot-candle,fc)，相等於每平方呎一流明(lumen)。流明是被用來描述光源的光輸出(光束)螢光燈在紫外線(UV)光譜內產生一些能量，它對於某些無塵室內的製程是有害的。濾除UV可以採用燈罩遮蔽或是用管子覆蓋住燈泡來完成。但是此種遮蔽會轉換可見光至黃色，而對在室內者而言是不舒適的。雖然此種遮蔽可能僅僅降低10%至20%的照度水準無塵室的基本燈具型式有淚滴型(teardrop)、崁入式、表面固定以及整體天花板格架(grid)型式。燈具的選擇通常是依據無塵室的分類等級。各種不同設計之潔淨室耗能比較(單位KW)萬士達無塵室施工規範Facility廠務部东莞