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研究报告

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2024年全球及中国FPD制造用准分子照射装置行业头部企业市场占有率及排名调研报告

一、行业概述

1.1行业背景及发展历程

(1)FPD制造用准分子照射装置行业作为半导体产业的重要组成部分，其发展历程与半导体产业的发展紧密相连。自20世纪60年代半导体产业兴起以来，FPD制造用准分子照射装置行业也随之发展壮大。随着半导体技术的不断进步，对半导体器件的性能要求日益提高，对FPD制造用准分子照射装置的精度和效率要求也随之提升。这一背景下，准分子激光技术应运而生，为FPD制造提供了全新的解决方案。

(2)在发展历程中，FPD制造用准分子照射装置行业经历了从传统光源到准分子激光光源的变革。早期的FPD制造主要依赖于紫外灯、X射线等传统光源，这些光源存在着效率低、寿命短、精度差等缺点。随着准分子激光技术的成熟，其独特的单色性好、光强高、聚焦能力强等优势，使得FPD制造用准分子照射装置成为半导体产业的关键设备之一。从20世纪80年代至今，准分子激光技术在FPD制造领域的应用已经取得了显著的成果。

(3)进入21世纪以来，随着半导体产业的快速发展，FPD制造用准分子照射装置行业迎来了新的发展机遇。一方面，半导体器件向高性能、小型化、低功耗方向发展，对FPD制造用准分子照射装置的精度和效率提出了更高的要求；另一方面，新型显示技术如OLED、AMOLED等的兴起，也为FPD制造用准分子照射装置行业带来了新的市场空间。在此背景下，全球及中国FPD制造用准分子照射装置行业进入了一个快速发展的阶段，企业间的竞争也日益激烈。

1.2FPD制造用准分子照射装置的定义及分类

(1)FPD制造用准分子照射装置，全称为FlatPanelDisplay（FPD）ManufacturingExcimerLaserSystem，是一种用于制造平板显示器的关键设备。该装置通过发射高强度的准分子激光束，对FPD基板进行精确的照射，实现图案转移、刻蚀等工艺过程。据市场调研数据显示，2019年全球FPD制造用准分子照射装置市场规模约为10亿美元，预计到2024年将增长至15亿美元。例如，三星电子在其OLED面板生产线上，就使用了德国Aixtron公司生产的准分子激光照射装置。

(2)FPD制造用准分子照射装置按照激光波长可分为紫外光照射装置和深紫外光照射装置。紫外光照射装置主要应用于LCD、LED等显示面板的生产，其激光波长通常在193nm至248nm之间。而深紫外光照射装置则应用于OLED、AMOLED等新型显示面板的生产，其激光波长通常在157nm至193nm之间。例如，日本尼康公司生产的深紫外光照射装置，其激光波长为193nm，广泛应用于OLED面板的生产。据统计，2018年全球深紫外光照射装置市场规模约为2亿美元，预计到2024年将增长至4亿美元。

(3)FPD制造用准分子照射装置按照照射方式可分为直接照射和间接照射。直接照射装置通过激光束直接照射到FPD基板上，实现图案转移等工艺过程。间接照射装置则通过光掩模或其他光学元件将激光束投射到FPD基板上，实现图案转移等工艺过程。据市场调研数据显示，2019年全球直接照射装置市场规模约为6亿美元，间接照射装置市场规模约为4亿美元。以日本佳能公司为例，其生产的间接照射装置在LCD、LED等显示面板生产中得到了广泛应用。随着新型显示技术的不断发展，间接照射装置的市场份额有望进一步扩大。

1.3全球及中国FPD制造用准分子照射装置行业的发展现状

(1)全球FPD制造用准分子照射装置行业近年来呈现快速增长态势。随着智能手机、平板电脑、电视等消费电子产品的普及，对高分辨率、高画质显示面板的需求不断攀升，推动了FPD制造用准分子照射装置市场的扩大。据统计，2019年全球FPD制造用准分子照射装置市场规模达到10亿美元，预计到2024年将增长至15亿美元。在这一过程中，日本、韩国、中国等国家和地区成为主要的市场参与者。以日本佳能和尼康为例，这两家公司在全球FPD制造用准分子照射装置市场占据领先地位，其产品广泛应用于各类显示面板的生产。

(2)在中国，FPD制造用准分子照射装置行业的发展同样迅速。随着国内半导体产业的崛起，以及本土企业对高端显示面板的持续投入，中国FPD制造用准分子照射装置市场呈现出快速增长态势。据数据显示，2019年中国FPD制造用准分子照射装置市场规模达到4亿美元，预计到2024年将增长至6亿美元。中国企业在该领域的市场份额逐年提升，如北京科瑞克、上海微电子等本土企业，通过技术创新和产品升级，逐渐在国际市场上崭露头角。

(3)从技术角度来看，全球FPD制造用准分子照射装置行业正朝着更高精度、更高效率、更低成