悬空零电极介电湿润芯片的设计.docx

第22卷第1期2014年1月

光学精密工程

OpticsandPrecisionEngineering

Vol.22No.1Jan.2014

文章编号1004-924X(2014)01-0138-08

悬空零电极介电湿润芯片的设计

许晓威，陈立国*,陈涛，孙立宁

(苏州大学机器人与微系统研究中心，江苏苏州215021)

摘要：针对目前单极板数字微流控芯片驱动液滴的效果多通过数值仿真方法验证而缺乏实验支持，本文提出将单极板结构中的零电极进行悬空设计，并通过实验对比分析了设计的悬空零电极单极板结构的芯片和传统双极板结构的芯片对液滴的驱动效果。首先，基于介电湿润原理，推导出传统双极板结构中液滴所受到的介电驱动力以及每个阻力，接着，对文中设计的悬空零电极结构的单极板数字微流控芯片中液滴的受力情况进行分析。然后，对比分析两种结构的数字微流控芯片中液滴的受力情况。最后，对两种结构的数字微流控芯片驱动去离子水微液滴的效果进行试验验证。实验结果显示：驱动同等体积大小的微液滴时，本文设计制作的悬空零电极单极板芯片比双极板结构的芯片所需的电压更低，液滴的运动速度更快；当有效驱动电压达到44V时，液滴的速度可以达到15cm/s。得到的实验结果证明了在单极板悬空零电极结构的数字微流控芯片上液滴驱动速度更高，驱动电压更低。

关键词：数字微流控芯片；介电湿润；单极板；液滴速度

中图分类号：TN405;O442文献标识码：Adoi:10.3788/OPE0138

DesignofEWODdevicewithsuspendedgroundelectrode

XUXiao-wei,CHENLi-guo*,CHENTao,SUNLi-ning

(RoboticsMicrosystemsCenter,SoochowUniversity,Suzhou215021,China)

*Correspondingauthor,E-mail:clg@

Abstract:Thispaperresearcheshowtodesignthesuspendedgroundelectrodeofanelectrowetting-on-dielec-tric(EWOD)baseddevice,becausemostoftheexistinginvestigationsfortheefficiencyofsingle-plateEWODdevicewerecarriedoutbymeansofnumericalsimulationsandlackofexperimentalresults.Then,itcoam-pares,thedrivingeffectivenessforaliquiddropletbytheproposedEWODdevicewithsuspendedgroundelec-trodeandatraditionalbipolarplatedevice.BaseduponthetheoryoftheEWOD,thedielectric,derivingEWODforceandeachresistiveforceofthedropletholdingbetweenthebipolarplateswerederived,andtheforcesofthedropletsittingonthesingle-plateEWODdevicewereanalyzed.Then,theforceswerecomparedbetweenthebipolarplatedeviceandthesingle-plateEWODdevice.Finally,thedrivingcharacteristicsofthedropletweretestedviathefabricatedEWODdev