真空系统设计.pptVIP

光学材料可选Kodial玻璃、石英、蓝宝石、特殊玻璃材料(例如硒化锌，氟化镁等)及有光学镀层的7980高纯熔融石英（专用于传输激光）。1材料表面常见的污染形式01材料表面净化023表面净化处理的基本方法03放电清洗045气体冲洗05非金属材料的清洗067清洗的基本程序078清洗注意事项089清洁零件的存放093、真空卫生环境空气中的尘埃和抛光残渣及其它有机物等；水基类:操作者的手汗、吹气时的水汽、唾液等；表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物；酸、碱、盐类物质：清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；油脂：加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等。03040501023.1材料表面常见的污染形式第五章、真空系统设计主要内容：1、真空系统的组成2、真空系统元件及连接3、真空系统中常用材料4、真空卫生5、真空系统的设计计算1、真空系统的组成1.1真空技术系统图用图形符号：阀门热偶规扩散泵冷阱VacuumSystemSchematicSymbolsHandOperatedValve.GateValve.PneumaticGateValve.LeakValve.ButterflyValve.PneumaticButterfly.Bellows.SorptionTrap.VacuumGauge.RotaryPumpTurbomolecularPump.TiSublimationPump.IonPump.CryoPump.1.2真空系统的构成真空系统是由真空容器、获得真空、测量真空、控制真空等组件组成。较完整的真空系统：真空室所需的真空泵或真空机组：真空测量装置连接导管捕集器真空阀门其他真空元件及电气控制系统将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置低真空抽气机组特点：工作压强高、排气量大、抽速比高真空机组低。中真空机组特点：大抽速、获得中真空高真空机组特点：工作压强较低、排气小、抽速大超高真空机组特点：工作压强极低、材料的出气率很小、漏气率很小、能高温烘烤1.3典型的真空系统真空室，2、真空计，3、管道，4、阀门，5、机械泵。1.4真空系统的基本操作规测启动油封机械泵时，首先保证转子方向正确、油位符合要求；油封机械泵停止时，防止压差返油；不要让机械泵工作到极限压强；不要让油封机械泵在大气压强下或较高压强下长时间工作；在扩散泵通大气之前，应将泵油冷却到安全温度，防止高温下油氧化；高真空泵在工作之前，先要开启水冷；使用电离计时，应在真空室压强低于1.33×10-1Pa，才接通电离计；真空系统停止工作时，应将系统内的各元件（包括真空室）都保持真空状态下封存，但机械泵要通大气；真空室、真空泵、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器（阱）、除尘器、真空继电器ACB真空阀门密封连接真空元件:2、真空系统元件及连接2.1真空阀门真空阀门的作用：开关气路控制气流大小定量充气。1阀门的开合2真空阀门的工作形式：3隔膜阀、球阀、蝶阀、插板阀、挡板阀、翻板阀、针阀、4超高真空阀、无油玻璃真空阀5电磁阀，手动阀、气动阀6典型的真空阀工作方式：直角阀直通阀球阀蝶阀典型的真空阀工作方式：直角阀直通阀球阀蝶阀可调流量控制器漏阀（放气阀）2.2密封密封材料密封材料工作温度范围/℃适用真空区域密封材料工作温度范围/℃适用真空区域天然橡胶-30~90低、中真空铅-200~170高真空丁基橡胶-30~130低、中、高真空铝-200-~350超高真空丁腈橡胶-30~130低、中、高真空银-200~450超高真空氟橡胶-30~240高、超高真空（少用）铜-200~500超高真空硅橡胶-100~260低、中真空金-200~500超高真空聚四氟乙烯-150~250高、超高真空（少用）真空阀门的胶垫密封结构正压强的O-ring密封其它O-ring密封快速接头组件STEP03STEP04STEP01STEP02橡胶密封材料的基本要求光华表面；无划伤；无裂纹；具有低的出气率、挥发率和透气率；良好的耐热性、耐油性、抗老化能力、耐压缩形变（35%)适宜的压力松弛系数（0.65）真空阀门的金属垫密封金属垫各式金属嵌入密封MaterialsAg,In,Al,Au,Cu,Alloy真空阀门的金属垫密封的优缺点放气远小