单晶炉储尘罐清理作业指导书.docVIP

文件名称

单晶炉储尘罐清理作业指导书

文件编号：

-001

版本/修改：

A01/00

Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进

PRODUCT产品：单晶硅棒

签名

隶属：单晶车间

日期

PAGE：第1页OF共1页

目的

规范储尘罐的清理工序

适用范围

适用于单晶炉的清扫工作

作业内容

一·做业准备

1、准备好毛刷、吸管、专用工具；

2、带好手套、防尘口罩；

注意事项及原由

1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费

二·清理储尘罐

1、用专用工具松开储尘罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；

2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；

3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；

4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；

5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；并检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽

影响抽空。

6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；

7、清洁大罐表面卫生；

注意事项及原由

1、打开大罐前确认真空泵球阀在打开状态和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染；

2、工作时要慎重作业，防止造成意外伤害；盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净；

3、安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空；

4、大罐内氧化物容易飘散，在清扫时应竟量避免与周围作业造成交叉沾污；

4、仪器/工具/材料

5、相关表格

《单晶炉操作记录》