《精密仪器使用环境微振动测试规范》团体标准征求意见稿.pdf

ICS11.040.70

Y89T/CSMT

团体标准

T/CSMT-DE-00*—2022

精密仪器使用环境微振动测试规范

Specificationforenvironmentalmicro-vibrationtestingofprecisioninstruments

（征求意见稿）

2022-11-30发布2022-12-01实施

中国计量测试学会发布

T/CSMT-DE-00*—2022

前言

本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。

本标准由中国计量测试学会提出并归囗。

本标准起草单位：中国计量科学研究院

本标准主要起草人：

II

T/CSMT-DE-00*—2022

引言

精密仪器具备价值大、精度高、使用环境要求苛刻等特点。大多数精密仪器对微振动比较敏感，微

振动会对精密仪器设备造成损害、降低精度、产生难以接受的偏离，因此在工程规划选址和建设过程中

必须考虑降低或消除微振动影响。目前，我国并没有专门针对精密仪器使用环境微振动测试与分析的统

一技术标准。因此，研究并提出精密仪器使用环境微振动测试和数据分析方法的规范化要求，是当前精

密仪器应用中亟待解决的一项关键技术，其成果将为精密仪器使用环境的选址和微振动控制设计提供科

学依据。

III

T/CSMT-DE-00*—2022

精密仪器使用环境微振动测试规范

1范围

本标准适用于精密仪器使用环境微振动测试，对使用环境微振动有要求的精密设备可参考执行。

本标准规定了测试仪器、测试条件、测试仪器安装、测试方法、数据采集和分析、测试结果应用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本标准必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本标准；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

标准。

GB50190工业建筑振动控制设计标准

GB50463工程隔振设计标准

GB50868建筑工程容许振动标准

GB51076电子工业防微振工程技术规范

GB/T51228建筑振动荷载标准

3术语和定义

下列术语和定义适用于本标准。

3.1

微振动micro-vibration

影响精密仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。

注：本标准所定义的微振动应为幅值不大于表3.1规定的限值的振动

表3.1振振动限值

振动位移振动速度振动加速度

微振动物理量-1-2

/µm/µm·s)/m·s

（（）

频域振动幅值