《电子工业超纯水用再生水水质规范》编制说明.docx

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工程建设行业标准

《电子工业超纯水用再生水水质规范》

编制说明

一、编制依据

根据《工业和信息化部办公厅关于印发2023年第三批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》(工信厅科函〔2023〕291号)要求，由中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同开展行业标准《电子工业超纯水用再生水水质规范》（计划号：2023-1770T-SJ）的编制工作。

二、编制目的

我国面临严峻的水资源短缺和水环境污染问题，污水再生利用是解决我国水资源问题的重要途径。2021年1月11日，国家发展改革委员会等十部委联合发布《关于推进污水资源化利用的指导意见》，明确指出积极推动污废水工业循环利用，完善再生水处理和利用标准体系。

电子和半导体工业，水量需求大，水质要求高。随着我国高端电子和半导体工业自主发展的刚性需求，电子超纯水需求将大幅增加，传统水资源越来越难以满足快速增长的纯水制备需求。我国缺水地区，如北京、上海，正逐步开展城市再生水用于电子超纯水制备的生产实践。未来，进一步拓展城市再生水在电子超纯水制备中的应用将是我国电子行业高质量发展的重要支撑。

电子超纯水要求极高的水质。例如，12寸集成电路产线要求纯水的总有机碳（TOC）小于1μg/L，金属离子小于1ng/L，电阻率大于18.2MΩ?cm等。因此，电子企业对水制备系统进水中的小分子有机物、硼、硅浓度有严格的要求。再生水是一种重要的工业用水水源，但是，现有再生水水质标准体系并不完善，仅涉及工业冷却水、洗涤水、锅炉用水等工业用水，指标种类少、水质要求低，未限定TOC、尿素、硼、硅等影响电子超纯水制备的关键水质指标，难以满足电子超纯水水源要求。

基于城镇污水厂出水和电子企业厂内循环水制备的再生水，可用于制备电子超纯水，是缓解我国水资源短缺与电子超纯水快速增长矛盾的重要途径，也是推动污废水工业循环利用的重要环节。本标准以建立用于电子超纯水制备的再生水水质要求为目标，确定再生水水质控制项目及限值等。本标准的制定和实施，对规范和指导再生水用于电子超纯水制备具有积极的现实意义，为推动污废水工业循环利用提供标准和技术支撑。

三、编制原则

1.通用性原则

本规范属于电子工业行业标准，规范将结合电子行业需求及再生水水质特点，针对电子超纯水的制备要求，全面研究集成电路、显示器件、太阳电池等行业电子超纯水用再生水水质要求，提出适用于电子工业超纯水用再生水水质规范。

2.协调性原则

本规范的编制针对电子工业超纯水用再生水水质要求，细化细分领域个性化需求，如集成电路、显示器件、太阳电池等。同时与《电子级水》、《生活饮用水卫生标准》等相关规范相协调，确保本规范中的技术内容不存在重复交叉和矛盾的情况。本规范所提出的规定内容、深度或格式要求，与现行有效的相关法规、标准、规范、规程相协调，避免重复、矛盾；同时还考虑与相关国际标准的衔接、协调问题，以及与国际工程惯例相互适应的问题。

3.创新性原则

再生水制备电子工业超纯水在国内属于电子和水处理新兴交叉行业，是十三五、十四五期间重点鼓励发展的行业，国内近年才随着电子工业的发展而规模化发展的。本规范的制定，填补了行业空白。本规范的编制将遵守和落实国家十四五期间的战略部署和相关要求。

4.先进性原则

本规范的编制将结合再生水制备电子工业超纯水快速发展的形势和特点，充分调研国际国内技术水平，将先进的技术和水质要求综合考虑到规范的水质指标中，使规范具有一定的先进性和前瞻性，为再生水用于电子超纯水制备提供水质保障与规范支撑。

四、编写方法

标准主编单位中国电子系统工程第二建设有限公司筹建成立编制组，编制组由具有丰富专业理论和实践经验，熟悉业务及有关法规、文字表达能力较强的人员组成。主编单位提出标准工作大纲，包括标准框架及主要内容，组织参编单位讨论并根据框架开展有关调研编制工作。参编单位根据本单位优势领域承担相应工作，主编单位明确编制工作分工及编制计划。

1、规范结构、书写格式、用语按住房和城乡建设部《工程建设标准编写规定》和《工程建设标准出版印刷规定》（建标〔2008〕182号）的规定执行；

2、编写工作按准备（含调研）、征求意见、送审、报批四个阶段进行；

3、所涉及技术要求能定量的要定量，不能定量的要定性，定性和定量要做到准确。

五、编制过程

第一阶段，启动阶段（2023年11月～2024年4月）

主编单位在本阶段收集了大量的相关资料，多次召开内部讨论会，讨论标准主要技术内容，起草工作大纲。2024年4月26日，由中国电子系统工程第二建设有限公司在无锡市以线上线下会议相结合的形式组织召开了本项工程建设行业标准编制工作组成立暨第一次工作会议。住房和城乡建设部标准定额司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、清华大学、河海大学、清华大学深圳