T_EBA 40005-2024 GAM500气体分析仪校准规范.docxVIP

公开

中国团体标准

T/EBA.40005－2024

GAM500气体分析仪校准规范CalibrationspecificationforGAM500gasanalyzer

2024－09－20发布2024－10－31实施

北京电子仪器行业协会发布

T/EBA.40005－2024

I

前言

本标准由北京东方计量测试研究所提出。本标准由北京电子仪器行业协会归口。

本标准起草单位：北京东方计量测试研究所。

本标准主要起草人：柏向春、余荣、王欢、杨振、杨阳、眭瑞涛、刘迪、杨廷凯、朱振良。

T/EBA.40005－2024

1

GAM500气体分析仪校准规范

1范围

本规范规定了GAM500气体分析仪的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T14850

气体分析词汇

GB/T40333

真空计四极质谱仪的定义与规范

GB/T38677

气体分析测量过程及结果校准技术要求

GB/T37180

气体分析校准用纯气和混合气体的使用指南

GB/T38527

校准混合气体技术通则

JJF1059.1测量不确定度评定与表示

3术语定义

GB/T14850和GB/T40333确立的以及下列术语和定义适用于本校准规范。3.1GAM500气体分析仪GAM500gasanalyzer

一种基于质谱分析原理的、型号为GAM500的气体分析仪器，包括进样系统、离子源、质量分析器、检测器、真空系统、数据系统等几部分。原理是将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）实现物质分析。

3.2最小可检漏率minimumdetectableleakrate

当存在本底噪声时，GAM500气体分析仪在最佳状态下，能够检测出的示漏气体的最小漏率。

4概述

4.1原理

GAM500气体分析仪的工作原理是：通过进样系统将待校准气体引入质谱分析室中，质谱仪将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）可实现物质分析。

4.2构造

GAM500气体分析仪由质谱分析系统、循环取样系统、冷却系统、驱动气系统等组成。质谱分析系统主要由四极质谱计及真空系统组成，可对多种示漏介质进行分析检测；循环取样系统主要由显示单元、比较气室和循环泵等组成，可控制并显示测试过程并将收集室、比较气室的气体送入质谱分析系统进行分析；冷却系统为质谱分析系统的分子泵提供循环冷却水；驱动气系统为质谱分析系统的各气动阀门进行供气。GAM500气体分析仪原理图见图1。

T/EBA.40005－2024

2

图1GAM500气体分析仪原理图

4.3用途

GAM500气体分析仪可在大气环境下对充入He、Kr或CF4等不同示漏气体的多个密封系统同时进行总漏率测试。

5计量特性

最小可检漏率

6校准条件

6.1环境条件

a)环境温度：23℃±5℃;

b)相对湿度：≤80%；

c)周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动。

6.2校准用气体

纯度不低于99.9%、临界温度不高于0℃、无毒、无腐蚀性、非易燃气体。

T/EBA.40005－2024

3

6.3校准用设备

校准所用仪器设备应经过计量技术机构校准，并在有效期内。校准用仪器设备及性能要求见表1。表1校准用仪器设备及性能要求

序号

仪器设备名称

技术要求

1

电容薄膜真空计

测量范围：100kPa～100Pa，最大允许误差：±1.5%；

测量范围：100～0.01Pa，最大允许误差：±2%。；

2

小孔流导元件

测量范围：(1×10-2～1×10-8)m3/s最大允许误差：±10%

7校准项目

最小可检漏率。

8校准方法8.1校准原理

GAM500气体分析仪采用气体微流量计校准，气体微流量计的气体流量采用固定流导法测量，其计算公式为：

Q=pC(1)

式中：

Q——标准气体微流量，Pa?m3/s；

p——小孔流导元件的入口压力，Pa；C——小孔流导元件的流导值，m3/s。

GAM气体分析仪9将气体微流量计提供的已知流量的示漏气体引入到GAM500气体分析仪中，通过比较标准流量