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集成光学量测技术应用

课程大纲集成光学技术概述集成光学量测技术原理集成光学量测技术分类

集成光学技术概述集成光学技术是一种将光学元件和功能集成到微型芯片上的技术。它利用光波的干涉、衍射、偏振等性质，实现光信号的传输、处理和探测。

集成光学量测技术原理集成光学量测技术主要利用光波与被测物理量的相互作用来实现测量。例如，光波的干涉可以用于测量微小位移；光波的衍射可以用于测量应变或压力；光波的偏振可以用于测量温度或流量。通过对光波变化的测量，可以获得被测物理量的信息。

集成光学量测技术分类位移测量利用光波的干涉或衍射来测量物体位置的微小变化。应变测量利用光波的衍射或偏振来测量材料的形变。压力测量利用光波的衍射或偏振来测量施加在物体上的压力。温度测量利用光波的偏振或波长变化来测量温度。流量测量利用光波的干涉或衍射来测量流体流动的速度或流量。角度测量利用光波的衍射或偏振来测量物体的旋转角度。

集成光学位移传感器集成光学位移传感器是一种基于集成光学原理，用于测量微小位移的传感器。它通常由光源、光波导、干涉仪或衍射光栅等组成，并集成在微型芯片上。集成光学位移传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快、抗干扰能力强等优点。

集成光学位移传感器结构典型的集成光学位移传感器结构包括光源、光波导、干涉仪或衍射光栅、光探测器等部分。光源将光信号耦合到光波导中，光波导将光信号传输到干涉仪或衍射光栅。干涉仪或衍射光栅根据被测位移的变化，改变光的干涉或衍射图案，并由光探测器接收。

集成光学位移传感器工作原理1光源发出的光信号经过光波导传输到干涉仪或衍射光栅。2当被测物体移动时，干涉仪或衍射光栅发生位移，导致光波的干涉或衍射图案发生变化。3光探测器接收变化的光信号，并将其转换为电信号。4电信号被处理后，就可以得到被测物体的位移信息。

集成光学位移传感器类型马赫-曾德尔干涉仪型利用马赫-曾德尔干涉仪结构，通过改变光束的干涉路径来测量位移。法布里-珀罗干涉仪型利用法布里-珀罗干涉仪结构，通过改变干涉腔长度来测量位移。衍射光栅型利用衍射光栅的衍射角度变化来测量位移。

集成光学位移传感器性能指标10-6m分辨率传感器能够分辨的最小位移值。100Hz响应速度传感器响应被测物体运动的快慢。1000g抗冲击能力传感器承受冲击的能力。50℃工作温度范围传感器能够正常工作的温度范围。

集成光学应变传感器集成光学应变传感器是一种基于集成光学原理，用于测量材料形变的传感器。它通常由光源、光波导、衍射光栅或光纤光栅等组成，并集成在微型芯片上。集成光学应变传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快、抗干扰能力强等优点。

集成光学应变传感器结构典型的集成光学应变传感器结构包括光源、光波导、衍射光栅或光纤光栅、光探测器等部分。光源将光信号耦合到光波导中，光波导将光信号传输到衍射光栅或光纤光栅。衍射光栅或光纤光栅根据材料形变的变化，改变光的衍射或反射特性，并由光探测器接收。

集成光学应变传感器工作原理1光源发出的光信号经过光波导传输到衍射光栅或光纤光栅。2当材料发生形变时，衍射光栅或光纤光栅发生形变，导致光的衍射或反射特性发生变化。3光探测器接收变化的光信号，并将其转换为电信号。4电信号被处理后，就可以得到材料的应变信息。

集成光学应变传感器类型衍射光栅型利用光波导中的衍射光栅的衍射角度变化来测量应变。光纤光栅型利用光纤光栅的反射谱变化来测量应变。光弹性型利用光波在应力场中的偏振变化来测量应变。

集成光学应变传感器性能指标10-6灵敏度传感器输出信号变化量与应变变化量的比值。100Hz响应速度传感器响应材料形变的快慢。1000g抗冲击能力传感器承受冲击的能力。50℃工作温度范围传感器能够正常工作的温度范围。

集成光学压力传感器集成光学压力传感器是一种基于集成光学原理，用于测量物体上压力的传感器。它通常由光源、光波导、衍射光栅或光纤光栅等组成，并集成在微型芯片上。集成光学压力传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快、抗干扰能力强等优点。

集成光学压力传感器结构典型的集成光学压力传感器结构包括光源、光波导、衍射光栅或光纤光栅、光探测器等部分。光源将光信号耦合到光波导中，光波导将光信号传输到衍射光栅或光纤光栅。衍射光栅或光纤光栅根据压力变化，改变光的衍射或反射特性，并由光探测器接收。

集成光学压力传感器工作原理1光源发出的光信号经过光波导传输到衍射光栅或光纤光栅。2当压力作用在传感器上时，衍射光栅或光纤光栅发生形变，导致光的衍射或反射特性发生变化。3光探测器接收变化的光信号，并将其转换为电信号。4电信号被处理后，就可以得到压力的信息。

集成光学压力传感器类型衍射光栅型利用光波导中的衍射光栅的衍射角度变化来测量压力。光纤光栅型利用光纤光栅的反射谱变化来测量压力。光弹性型利用光波在应力场中的偏振