T_TCH 002-2022 废湿电子化学品再生液 光刻胶稀释剂.docxVIP

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TCH

团体标准

T/TCH002—2022

废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂

RegenerationsolutionofwastewetelectronicchemicalsPhotoresistdiluent

2022-06-28发布2022-07-01实施

陕西省天合城市矿产开发利用促进会发布

T/TCH002—2022

I

目次

前言 II

1范围 3

2规范性引用文件 3

3术语和定义 3

4一般要求 3

5试验方法 4

6检验规则 4

7包装、标志、贮存和运输 5

参考文献 6

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II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本文件由陕西省天合城市矿产开发利用促进会提出并归口。

本文件起草单位：陕西省环境科学研究院、西安石油大学、陕西高科环保科技有限公司、蒲城祥火环保新能源有限公司、陕西明瑞资源再生有限公司。

本文件主要起草人：荆维、杨博、张保军、申斌、岳秀伟、冯铁锁、崔博、李宝锋、宋江波、鱼涛、李金灵。

本标准为首次发布。

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3

废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂

1范围

本文件规定了废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮存及运输要求。

本文件适用于以半导体和平板显示器等制造及生产过程中所产生的废光刻胶稀释剂混合液或单一物质溶液（丙二醇单甲醚醋酸酯等）为原料，经处理后所得的再生液。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB12463危险货物运输包装通用技术条件

GB13690化学品分类和危险性公示通则

GB15258化学品安全标签编写规定

GB17914易燃易爆性商品储存养护技术条件

GB/T3143液体化学产品颜色测定法(Hazen单位——铂-钴色号)

GB/T6283化工产品中水分含量的测定卡尔·费休法（通用方法）

GB/T6324.2有机化工产品试验方法第2部分:挥发性有机液体水浴上蒸发后干残渣的测定

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

GB/T9724化学试剂pH值测定通则

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

湿电子化学品wetchemicals

指微电子、光电子湿法工艺制程中使用的化工材料的统称。3.2

再生液regenerationsolution

指湿电子化学品在使用过程中产生的废液经过一定工艺处理后，得到的具备原湿电子化学品主要功能的再生品。

3.3

废光刻胶稀释剂溶液wastephotoresistdiluent

指不同成分和配比的光刻胶稀释剂产品使用过程中产生的含有相应成分的废液。

4一般要求

4.1外观

常温下为透明液体，无机械杂质及悬浮物。

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4

4.2要求

4.2.1不同级别光刻胶稀释剂混合液应符合表1所示技术要求。

表1光刻胶稀释剂混合液技术要求

质量控制项目

指标要求

试验方法

再生电子级

再生工业级

再生基础级

有效成分含量/wt.%

≥99.5

≥99.0

≥95.0

GB/T9722

水分/wt.%

≤0.1

≤0.3

≤0.5

GB/T6283

蒸发残渣/wt.%

≤0.001

≤0.01

≤0.01

GB/T6324.2

色度/Pt-Co色号

≤10

≤10

≤20

GB/T3143

pH

4~8

GB/T9724

Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、

Ni、Cu、Zn、Ag、Cd、Pb等金属离子杂质含量/μg·kg-