透射电子显微镜结构.ppt

如果把中间镜的物平面与物镜的像平面重合，则荧光屏上得到的是一幅放大像（显微图像），即TEM高倍放大操作。TEM物镜物物镜像平面中间镜中间镜像平面荧光屏中间镜物平面投影镜第55页，共92页，星期日，2025年，2月5日如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，荧光屏上得到的是一幅电子衍射花样，即TEM的电子衍射操作。TEM投影镜物物镜物镜背焦面中间镜中间镜像平面荧光屏中间镜物平面选区光阑第56页，共92页，星期日，2025年，2月5日3、投影镜投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。投影镜是一个短焦距强激磁的透镜，激磁电流是固定。因为成像电子束进入投影镜时孔径半角很小，因此，它的景深和焦长很大。即使改变中间镜的放大倍数，TEM总放大倍数有很大变化，也不会影响图象的清晰度。目前，高性能TEM电镜都采用5级放大系统，即两个中间镜和两个投影镜。TEM第57页，共92页，星期日，2025年，2月5日5.6.3观察记录系统TEM的观察和记录装置主要有荧光屏和照相机构。在荧光屏下方，放置一个可以自动换片的暗盒。照相时只需把荧光屏竖起，电子束即可使底片曝光。由于TEM的焦长很大，虽然荧光屏和底片之间有十几厘米，仍能得到清晰的图象。5.6.4真空系统真空系统用来维持镜筒(凡是电子运行的空间)的真空度在10-4Torr以上（LaB610-7Torr,场发射需要10-9Torr），以确保电子枪电极间绝缘，防止成像电子在镜筒内受气体分子碰撞而改变运动轨迹，减小样品污染等。TEM第58页，共92页，星期日，2025年，2月5日5.6.5电源系统透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。TEM第59页，共92页，星期日，2025年，2月5日5.7 TEM的主要部件5.7.1样品台样品台的作用是承载样品，并使样品能作平移、倾斜和旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察。TEM的样品放置在物镜的上下极靴之间，样品很小，通常是φ3mm的薄片。TEM第60页，共92页，星期日，2025年，2月5日对样品台的要求：①使样品牢固地夹持在样品座中并保持良好的热、电接触，减小因电子束照射引起的热或电荷堆积造成的样品损伤和图象漂移。②样品台要能平移、倾斜和从不同方位获得各种形貌和晶体学信息；在两个垂直方向上平移的最大距离为±1mm，保证样品上大部分区域都能观察到。③样品移动机构要有足够的精度，无效行程应尽可能小。样品台有顶插式和侧插式， 常见多为侧插式，如图示。TEM第61页，共92页，星期日，2025年，2月5日5.7.2消像散器消像散器是对电磁透镜磁场椭圆度进行补偿矫正的，分为两种：①机械式—在电磁透镜周围放置几块位置可调的导磁体，用它们来吸引一部分磁场，把固有的椭圆磁场矫正接近旋转对称。②电磁式通过磁极间的吸引和排斥来校 正椭圆磁场。由两组4对磁体 同极相对安放，通过改变两组 电磁体的激磁强度和磁场方向 把固有椭圆磁场矫正为轴对称 磁场，以消除像散。TEM第62页，共92页，星期日，2025年，2月5日5.7.3光阑在TEM中有许多固定光阑和可动光阑，主要作用是挡掉发散的电子，保证电子束的相干性和照射区域。其中3种可动光阑分别是第二聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑。光阑都是由无磁性金属（Pt、Mo）制成，4个或6个一组的光阑孔被安放在光阑杆支架上。使用时，通过光阑 杆的分档机构按照 需要依次插入，使 光阑孔位于电子 束轴线上。TEM第63页，共92页，星期日，2025年，2月5日1、第二聚光镜光阑第二聚光镜光阑的作用是限制照明孔径角，安放在第二聚光镜下方的焦点位置上。光阑孔直径为20~40μm范围。2、物镜光阑——又称衬度光阑，放置在物镜背焦面上，常用孔径为20~120μm范围。电子束 通过样品后产生散射和衍射，散射 角度较大的电子被光阑挡住，不能 继续进入镜筒成像，从而在像平面 形成具有一定衬度的像。物镜透射束散射束物镜光阑TEM第64页，共92页，星期日，2025年，2月5日光阑孔↓→被挡住的电子越多→图象衬度越大。物镜光阑的另一个作用是在后焦面上套取衍射斑点成暗场像。物镜光阑OATDOA晶体物镜DTOATEM第65页，共92页，星期日，2025年，2月5日3、选区光阑—场限光阑、视场光阑为分析样品上的微区（一般为