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第5章电容式传感器

5.1工作原理

5.2测量电路

5.3典型应用

本章知识要点

1.平板电容的电容量表示。

2.三种电容传感器的工作原理。

3.变极距式传感器的灵敏度及非线性误差分析。

4.电容式传感器的测量电路。

电容式传感器概述

1、变换原理：将被测量的变化转化为电容量变化。

2、优点：结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适

应性强、抗过载能力大及价格低廉。

3、缺点：电容式传感器的泄漏电阻和非线性等缺点也

给它的应用带来一定的局限。

4、应用：测量压力、力、位移、振动、液位等参数。

什么是电容器？

电容器是由用介质（固体、液体或气体）或

真空隔开的两个电导体构成。

Q导体上的电荷量

C

U

导体之间的电压差

电容

5.1电容式传感器的工作原理和结构

如图所示，由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的

平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为：

A

A0rA

Cd

dd

ε

式中电容极板间介质的介电常数，，其中为真

:ε——ε=ε0εrε0

变介电常数型

空介电常数，εr极板间介质的相对介电常数；

两平行板所覆盖的面积；变面积型

A——

d两平行板之间的距离。

——变极距型

结构形式

如图所示，给出了一些

常见电容式传感器的原理

结构形式。其中图(a)、(b)

为变极距型；图(c)、(d)、

(e)和(f)为变面积型；图

(g)和(h)为变介电常数型。

图(a)、(b)、(c)、(e)和

(f)是线位移传感器；图(d)

是角位移传感器；图(b)和

(f)是差动式电容传感器。

5.1.1变面积型电容式传感器平板状电容

改变两极板覆盖

线位移变面积型面积，从而改变

电容量

(ax)b

CCC0r

0d

初始电容

动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx时x

Cx



ΔC与Δx呈线性

C0a关系

补充：圆柱形电容器筒状电容

圆柱形电容器的两极板由圆柱形导体A和同轴的圆柱壳

导体B组成。

当lRB−RA时，电容器的电容为：

2(lx)2l(1xl)

CC1xl

RR0

lnln

rr筒状电容

Cx



C0l

ΔC与Δx呈线性

关系

角位移变面积型角位移θ引起覆

盖面积改变，从

当θ=0时