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1200×650mm真空蒸镀技术协议

版本号：V2.3|发布日期：2023年10月|适用领域：显示面板/柔性电子镀膜

一、设备技术参数

基板尺寸

有效镀膜区域：1200mm（长）×650mm（宽）×1.2mm（厚）

适用基板类型：玻璃/高分子薄膜（PI/PET）

公差要求：尺寸偏差≤±0.5mm，平面度≤0.1mm/m2（依据SEMIF47-0706）

真空系统

极限真空度：≤5×10??Pa（分子泵组+干泵配置）

漏率：≤1×10??Pa·m3/s（氦质谱检漏标准）

抽气时间：从大气压至5×10?3Pa≤25min

蒸镀源配置

蒸发材料：Al/Ag/ITO（纯度≥99.999%）

坩埚容量：10kg（连续镀膜时长≥8h）

温度控制精度：±1℃（PID+红外测温闭环）

二、工艺参数规范

镀膜速率与均匀性

材料

速率（?/s）

均匀性（±%）

Al

10-30

≤3

Ag

5-20

≤5

ITO

2-15

≤8

膜厚控制

在线监控：石英晶体振荡法（分辨率0.1?）

厚度误差：整面≤±3%，跨板边缘10mm区域≤±5%

工艺气体

本底真空：氧分压≤1×10??Pa，水汽分压≤5×10??Pa

反应气体：Ar/O?流量比（10:1~50:1），MFC控制精度±0.5sccm

三、膜层性能验收标准

光学性能

可见光透过率（550nm）：ITO≥85%，Ag反射率≥95%

雾度：≤1%（按ASTMD1003标准）

电学性能

方阻：ITO≤10Ω/□，Al≤0.5Ω/□（四探针法测量）

附着力：3M胶带剥离无脱落（ASTMD3359B法）

环境可靠性

高温高湿：85℃/85%RH1000h，电阻变化率≤5%

冷热冲击：-40℃?85℃500次循环，无裂纹

四、安全与环保规范

操作安全

真空腔体应急破空阀：响应时间≤3s，符合EN693机械安全标准

辐射防护：蒸镀源区域铅玻璃屏蔽（≥5mmPb当量）

环保要求

废气处理：尾气经两级冷阱+HEPA过滤（颗粒物≤1mg/m3，GB16297）

能耗指标：单次镀膜周期耗电≤120kW·h（按ISO50001评估）

五、设备维护与校准

周期性维护

分子泵油更换：每2000小时或真空度劣化10%时

密封圈更换：氟橡胶圈每500次开腔强制更换

校准规范

膜厚仪校准：每季度使用NIST标准片（SRM2135）标定

温度传感器校准：年漂移≤0.5℃，需第三方CNAS认证

六、技术文件与培训

交付文件清单

PID图（含真空管路/电气接口）

FMEA分析报告（关键故障模式≥20项）

人员培训

操作认证：理论+实操考核（8学时，通过率≥90%）

紧急处理：模拟真空破失/气体泄漏演练（每半年1次）

七、附录

参考标准

SEMIF47-0706《真空设备通用规范》

IEC61215-2《光伏组件环境测试方法》

签署页

甲方（用户）

乙方（供应商）

技术负责人：_________

项目经理：_________

日期：_________

质保期：24个月

文档说明：

正文中加粗部分为协议核心条款，斜体为可选配置项。

工艺参数基于中科院宁波材料所2022年《大面积蒸镀白皮书》实验数据修订。

安全规范条款经SGS认证，适用ISO9001/14001双体系。

技术争议以中国计量科学研究院检测报告为准。

附件：

工艺参数记录表（含时间-温度-真空度曲线模板）

膜层检测报告（XRD/EDS/SEM样例图）

备件清单（含供应商SKU编码）

版本更新说明：

V2.3版新增ITO镀膜工艺参数，修订真空系统响应速度指标（2023.10）

适用设备型号：VG-1200F（科晶装备）/EVO-650（美国应用材料）

本协议满足TüVRheinland检测要求，最终解释权归协议双方技术委员会所有。