真空系统，镀膜设备和表面分析.ppt

外表分析技术是人们为了获取外表的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和手段。;一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、离子束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。;探测粒子;探测粒子;探测粒子;探测粒子;局部外表分析设备的分析范围;;为了使被研究的样品不被周围气氛所污染，获取“原子清洁〞的外表，外表分析过程往往是在真空或超高真空中进行的。目前，人们所广泛使用的很多外表分析设备都具有真空系统。

薄膜制备设备往往涉及真空系统。;真空：低于一个大气压的气体状态。

1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)

首创著名的大气压实验，获得真空。

自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇

宙空间。

人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。;真空量度单位

1标准大气压=760mmHg=760(Torr)

1标准大气压=1.013x105Pa

1Torr=133.3Pa

;真空单位

Atmospheres(atm):

Scalerelativetoouratmosphericpressureas1atm

Pascal(Pa):

SIunitequaltoN/m2

mBar:

Equalto1x10-8Pa.

TorrormmHg:

Mostcommonlyusedpressureunit,basedonmercuryvacuumgauges.;真空区域的划分

目前尚无统一规定，常见的划分为：

粗真空

低真空

高真空

超高真空

极高真空;真空的划分;真空技术的应用

电子技术、航空航天技术、加速器、外表物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。;真空的意义

;真空的意义

;DegreeofVacuum;真空的获得

;真空获得—真空泵;真空泵的分类;真空泵的主要参数;极限压强(极限真空)

最高工作压强

工作压强范围〔〕泵能正常工作的压强范围

几种常用真空泵的工作压强范围

旋片机械泵

吸附泵

扩散泵

涡轮分子泵

溅射离子泵

低温泵;几种常用真空泵的工作原理

1.旋片机械泵;真空技术原理;旋片式机械泵;2.油扩散泵;3.涡轮分子泵;真空技术原理;真空技术原理;真空技术原理;真空的获得涡轮分子泵

;真空的获得溅射离子泵

;真空的获得溅射离子泵

;真空的获得钛升华泵

;真空的获得真空中所适用的材料

;真空的获得

;MaterialstobeAvoided(highvaporpressures)

Zn,Cd:especiallybecarefuloffasteners,bolts

Brass

Certainsolders

Anytypeofgreaseoroils

;真空的获得

;真空的获得

;真空的获得

;真空的测量—真空计

1.绝对真空计;2.相对真空计;真空的测量

;真空的测量

;2.2热阴极电离真空计〔电离规〕

原理：电子与气体分子碰撞引起分子电离，形成电子和正离，电子最终被加速极收集，正离子被收集极接收形成离子流：

I+=kIep=cp

其中，k称为电离计的灵敏度，是单位电子电流、单位压强下的离子流。

测量范围：1.33×10-1～1.33×10-5Pa

测量下限：高速电子打到加速极G→G产生软x射线→软x射线射向收集极c→收集极c产生光电发射→产生电子流Ix→Ix与I+方向相反，与压强无关。;电离计线路图;理论解释：

当p较高时，kx/pk，此时

当p很低时，kx/pk，此时

与压强无关;2.3B—A真空计(超高真空热阴极电离计);真空的测量

;真空的测量质谱仪

;;真空的测量

;真空镀膜;真空系统(DM—300镀膜机);蒸发系统;Ultrahighvacuumscanningelectronmicroscopewith

micro-probeR