基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理的深度剖析与创新研究.docx

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2025-03-17 发布于上海
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基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理的深度剖析与创新研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）、微纳制造等领域对于微小尺寸、高精度金属结构件的需求日益增长。微电铸技术作为一种能够实现高精度、复杂形状微结构制造的关键技术，在这些领域中发挥着至关重要的作用。微电铸技术基于电化学沉积原理，通过在阴极表面沉积金属离子，从而复制出与芯模相反的金属结构。相较于传统加工方法，它具有精度高、能够制造复杂形状结构以及适合批量生产等显著优势，在MEMS器件制造中，微电铸技术可用于制作微传感器、微执行器等关键部件，其高精度的制造能力能够确保器件的性能和可靠性；在微纳