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2018年碳化硅宽禁带半导体功率器

件研发及产业化项目

可行性研究报告

2018年12月

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目录

一、项目概况.

二、项目必要性、可行性分析

1、项目必要性5

（1）顺应行业发展趋势，实现产品结构升级的需要5

（2）把握市场际遇，巩固公司国内领先地位的需要5

（3）缩小与国际先进水平差距，提高国际竞争力的需要6

2、项目可行性7

（1）国家政策的重点支持提供了良好发展环境.7

（2）研发实力和技术积累为项目开发提供条件.7

（3）领先的产业链资源和客户资源为项目产业化打下基础8

三、项目产品及新增产能消化情况.

四、项目技术方案和主要设备选择.

1、工艺流程10

（1）SiCSBD工艺流程10

（2）SiCMOSFET工艺流程10

2、项目新增加设备列表11

3、项目新增土建投资列表11

4、项目新增加软件投资列表11

五、项目主要原材料和动力的供应情况

1、主要原辅材料12

2、主要动力供应12

六、项目竣工时间、产量

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七、项目组织及实施

1、组织实施13

2、项目进度计划