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集成电路制造工艺孙萍课后答案.doc

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    第一章集成电路制造工艺的发展与工艺流程

    1.简述集成电路制造工艺发展的大致状况。

    答：1）1947年，威廉?肖克莱（WilliamShockley），约翰?巴丁（JohnBardeen）和沃尔特?布拉顿（WalterBrattain）在贝尔电话实验室发明了世界上第一只晶体管。

    2）1959年，仙童半导体公司的罗伯特?诺伊思（RobertNoyce）和德州仪器公司（TexasInstruments）的杰克?基尔比（JackKilby）分别独立地发明了世界上第一个集成电路。

    3）集成电路制造工艺与分立器件技术的发展是分不开的，工艺的核心是PN结技术的制造，从生长法、合

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