《激光加工机床 微结构检测方法 第3部分：微切割》-征求意见稿.pdf

ICS25.080.99

CCSJ50

CAMS

团体标准

T/CAMSXXXX—XXXX

激光加工机床微结构检测方法

第3部分：微切割

点击此处添加标准名称的英文译名

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国机械工业标准化技术协会  发布

T/CAMSXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

《激光加工机床微结构检测方法》分为四部分：

——第1部分：微孔；

——第2部分：微槽；

——第3部分：微切割；

——第4部分：微抛光。

本文件为激光加工机床微结构检测方法的第3部分。

本文件由中国机械工业标准化技术协会提出。

本文件由中国机械工业标准化技术协会机床专业委员会归口。

本文件起草单位：西安交通大学等

本文件主要起草人：梅雪松等

本文件为首次发布。

II

T/CAMSXXXX—XXXX

激光加工机床微结构检测方法

第3部分：微切割

1范围

本文件规定了激光加工机床微结构中微切割的基本检测与评价方法等，包括切缝尺寸、锥度、断面

形貌特征和冶金形态的测量仪器及量具、样品制备、检测方法、测试和分析、检测报告等。

本文件也可以用于其他设备微切割的检测。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB5226.1-2002机械安全机械电气设备第1部分：通用技术条件

GB18217-2000激光安全标志

GB/T34380-2017数控激光切割机

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

激光切割Lasercutting

利用高功率密度激光束照射被切割材料，使材料快速被加热至汽化温度，蒸发形成孔洞，随着光束

相对材料的移动，孔洞连续形成宽度很窄的缝隙，完成对材料的切割。

切缝Slit

材料被激光作用后去除而形成的宽度很窄的缝隙，称为切缝。

微切割Microcutting

在材料上表面的两断面间的距离即切缝上表面宽度最大处≤100µm。

微切缝的宽度Slitwidth

激光切割材料后，两个断面边缘在材料表面上的距离，包括上表面的微切缝的入口宽度和下表面的

微切缝的出口宽度。

微切缝的宽度精度Accuracyofslitwidth

相同激光加工参数在相同材料样片切割加工后的微切缝轮廓宽度的尺寸精度，包括微切缝的入口宽

度精度和微切缝的出口宽度精度。

微切缝的深度Slitdepth

微切缝断面上表面到下表面的垂直距离，普遍应等于材料的厚度。

微切缝的深宽比Slitdepth-widthratio

微切