《GBT 44513-2024微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》最新解读.pptx

《GB/T44513-2024微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》最新解读;;;;;;PART;试验目的;;本标准详细规定了传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法，适用于各类MEMS压电薄膜的试验。;;;（六）总则与其他标准关联;PART;压电薄膜;MEMS（微机电系统）;（三）术语间逻辑关系梳理;新术语的引入可以更加准确地描述MEMS压电薄膜的相关特性和参数，避免术语混乱，提高行业交流效率。;压力传感器;（六）国际术语对比解读;PART;耐久性和可靠性要求;（二）关键技术指标分析;MEMS传感器发展趋势;具有高灵敏度、高精度、高可靠性的要求，能够在极端环境下稳定工作。;;（六）技术要求达标策略;PART;新型环境模拟技术;;引入新材料;MEMS传感器技术日新月异，环境试验方法需紧跟技术发展趋势，不断更新测试技术和设备。;精度提高;利用人工智能、机器学习等技术，实现环境试验过程的自动化、智能化，提高测试效率和精度。;PART;振动试验台;;（三）不同设备适用场景;美国MTS公司;价格因素;对试验设备的各项性能指标进行定期检查和校准，确保设备处于最佳工作状态。;PART;;;（三）测试参数如何设置;;材料疲劳和老化;;PART;湿度变化会导致MEMS薄膜材料的吸湿膨胀，进而影响其尺寸和形状，从而导致传感器性能的变化。;高湿度测试;（三）湿度影响案例分析;（四）湿度防护措施探讨;指传感器在湿度变化时，输出电压或电荷的灵敏度，通常用灵敏度系数或灵敏度曲线来表示。;;PART;;设备校准;控制振动方向;试验中可能出现的异常情况包括设备故障、样品异常、试验环境异常等，需要针对不同情况进行分类处理。;记录振动过程中振幅的大小，通常使用位移、速度或加速度来表示。;振动幅值;PART;;;试验持续时间受盐雾沉积速率、样品材质、表面涂层等多种因素影响，需综合考虑。;;;除湿技术;PART;（一）环境试验数据重要性;实时监测;灵敏度;设计上的不足或不合理可能导致传感器在某些环境条件下性能异常。;;;PART;（一）机械冲击试验标准解读;根据MEMS压电薄膜在实际应用中可能遭受的冲击强度进行设定，以确保测试的可靠性和有效性。;波形叠加;样品选择;;合理设计产品??构;PART;;气压调节前的准备工作;（三）试验压力范围确定;;设备清洁与干燥;采用合理的结构设计，提高传感器的抗压性能和稳定性，使其在气压变化时仍能保持准确测量。;PART;（二）耐久性测试项目介绍;基于产品应用需求;;选用高质量材料;根据测试前后的性能变化，确定MEMS压电薄膜的耐久性。;PART;评估传感器对压力变化的响应能力，即输出信号与输入压力之间的比例关系。;误差评估;;准确性;在发现异常结果时，应首先考虑重新进行测试，以排除可能的操作失误或设备故障。;;PART;高温处理;精准控温;;薄膜的退化与老化;采用高温环境对MEMS压电薄膜进行稳定性测试，通过对比不同温度下的性能参数，发现其工作稳定性受温度影响较大，需进行温度补偿。;使用专业的防护设备，如高温箱、保护罩等，确保试验样品在高温环境下不受损坏。;PART;（一）低温试验技术挑战;温度范围;温度均匀性;;采用局部加热或整体加热的方式，保证MEMS压电薄膜在低温环境下能够正常工作。;;PART;（一）湿热试验原理剖析;恒定湿热试验;根据实际应用场景和产品要求，设定合适的温度范围，通常为20℃~85℃。;（四）湿热对薄膜的危害;;防护材料选择;PART;合规的试验方法和程序可以确保传感器用MEMS压电薄膜在各种环境条件下性能和可靠性得到准确评估。;了解国内外关于MEMS薄膜试验的相关法规，确保试验的合规性。;试验步骤;（四）合规文件记录要求;试验设备不符合标准;;PART;;评估传感器性能;（三）不同场景应用价值;（四）应用价值案例分析;（五）提升应用价值策略;更高效的环境适应性;PART;规定了MEMS压电薄膜在不同环境条件下的试验方法，包括温度、湿度、气压等。;（二）热点技术解读分析;行业标准的影响;;;加强标准宣传和培训;PART;;;标准化带来的门槛提高;智能化和集成化;;PART;根据设备使用说明书和校准标准，确定校准项目和校准点，如灵敏度、线性度、重复性等。;选择精度高、稳定性好的校准仪器，确保校准结果的准确性和可靠性。;（三）校准参数设置技巧;（四）校准周期确定依据;将校准结果与标准规定的数值或范围进行比对，判断是否在规定误差范围内。;校准证书的信息完整性;PART;电气危险;;;在发生紧急情况时，首要任务是立即终止试验，确保人员和设备的安全。;培训内容;（六）安全规范执行监督