TSSCIPA-扫描型光学散射特性测量仪.pdfVIP

ICS17.040.030

CCSN30

团体标准

T/SSCIPA00X—2025

扫描型光学散射特性测量仪

Scanningopticalscatterometer

2025–XX–XX发布2025–XX–XX实施

四川省科技协同创新促进会发布

T/SSCIPAXXX—2025

目  次

目  次I

前  言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4产品结构和参数1

5技术要求2

6检测方法4

7检验规则5

8标志、包装、运输、储存6

参考文献7

I

T/SSCIPAXXX—2025

前  言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由四川省科技协同创新促进会提出并归口。

本文件起草单位：成都速派光学技术有限公司

参编单位：成都随如科技有限公司。

本文件主要起草人：黄智强。

II

T/SSCIPAXXX—2025

扫描型光学散射特性测量仪

1范围

本文件规定了工作波长范围覆盖紫外、可见光、红外波段的扫描型光学散射特性测量仪的产品结构

和参数、技术要求、检测方法、检验规则及标志、包装、运输、储存等。

本文件适用于扫描型光学散射特性测量仪。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温

GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温

GB/T2423.3电工电子产品基本环境试验规程试验Cab:恒定湿热试验方法

GB/T4208外壳防护等级

GB4793.1测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分:通用要求

GB7247.1激光产品的安全第1部分:设备分类、要求

GB/T17421.2机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定

JCGM100-2008Evaluationofmeasurementdata-Guidetotheexpressionofuncertaintyin

measurementdata

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1扫描型光学散射特性测量仪

利用单色光源（通常为激光器）或宽光谱光源通过光谱纯化设备（通常为单色仪）转