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linnik型显微白光光谱干涉测量方法研究--第1页

目录

摘要I

II

第1章绪论

1.1微结构表面形貌测试1

1.2薄膜技术的应用与厚度检测2

1.3白光光谱干涉法4

1.4论文主要内容6

第2章白光光谱干涉基本理论

2.1双光束干涉理论7

2.2白光干涉特性9

2.3干涉可见度与相干长度10

2.4白光时域相干与频域相干11

2.5本章小结12

第3章测量系统构建

3.1系统整体设计13

3.2系统硬件14

3.2.1干涉模块14

3.2.2运动及支撑模块15

3.2.3光谱采集模块16

3.2.4辅助调节模块18

3.3系统软件18

3.4本章小结20

第4章绝对距离及微结构表面形貌测量

4.1绝对距离计算方法21

4.2相位提取算法22

4.2.1傅里叶变换22

4.2.2时间相移法