高功率全固态近红外到深紫外脉冲激光器关键技术研究.pdf

摘要

高功率全固态脉冲激光器因其具有结构紧凑、光束质量高、长期稳定性好等优

点在工业加工方面有许多重要的应用。其中，1064nm近红外激光器多用于钢板、不

锈钢板、铝合金板等硬质金属材料的切割、清洗、焊接以及表面处理；532nm绿光

则可对塑料、玻璃、陶瓷等材料进行标记和刻印；尤其是355nm紫外以及266nm

深紫外激光器，由于其具有波长短、单光子能量高且分辨率高的特点，已被广泛用

于精密材料原件的微加工、打标以及光刻等工艺流程。在材料加工时，激光波长的

选择取决于具体的加工需求和材料特性，为满足更加多样化的需求，我们开展了高

功率全固态多波长脉冲激光器的研制，具体研究内容包括：

一、设计了一台高光束质量、高峰值功率且稳定运转的全固态腔倒空Nd:YVO4

近红外脉冲激光器，并通过腔外二倍频将激光发射波长进一步扩展至532nm波段。

谐振腔采用平凸腔结构，为有效减缓Nd:YVO4增益晶体的量子亏损热效应，选用中

心波长为888nm的LD作为其泵浦源。通过优化泵浦激光与谐振腔的模式匹配以及

谐振腔的腔长参数，当泵浦光功率为65W时，1064nm激光的输出功率可达26W，

其重复频率为20kHz，单脉冲宽度为5.2ns；然后利用类非临界相位匹配的ⅠLBO晶

体作为二倍频晶体，通过扫描LBO晶体温度实现精确的相位匹配后，获得了最高功

16W532nm61.5%

率为的脉冲激光，红外到绿光的转换效率可达。

二、基于已经获得的高峰值功率1064nm以及532nm纳秒脉冲激光，通过腔外

三倍频，研制了一台全固态355nm紫外脉冲激光器。为了补偿三倍频过程中绿光的

17°ⅡLBO

走离效应，从而提高倍频转换效率，选取带有楔角且为类临界相位匹配的

9W355nm

晶体作为三倍频晶体，最终获得最高功率为的脉冲激光。

三、基于输出功率为16W的全固态532nm脉冲激光器，利用四倍频BBO晶体

266nmBBO

进一步研制了一台全固态深紫外脉冲激光器。在深紫外激光产生过程中，

晶体内部严重的非线性吸收带来的热效应会破坏其相位匹配条件，进而制约其功率

的提升。为此，我们首先对四倍频过程中不同匹配温度下的晶体内部温升情况进行

研究，通过理论与实验相结合的方式证明提高晶体匹配温度可以在减小晶体非线性

吸收系数以及色心密度的基础上，降低晶体内部产热量从而改善深紫外激光功率输

出；其次深入研究了四倍频过程中绿光束腰尺寸以及晶体参数对深紫外激光输出特

I

性的影响，通过适当增大注入532nm激光的束腰尺寸并且采用横截面更小的晶体，

可以在有效降低晶体内部热效应的同时，直接缓解相位失配导致的输出功率饱和现

象，最终利用尺寸为3×3×7mm3的BBO晶体，并将其匹配温度提升到150℃，注入

绿光的束腰半径放大为400μm，得到了输出功率为4.13W的266nm深紫外脉冲激

光器，绿光到紫外转换效率可达25.8%。

在原实验光路的基础上，制备了可同时输出1064/532/355/266nm四个波长激光

的小型化全固态脉冲激光器样机，装配调试完毕后激光输出各项指标良好，输出的

22.3W13.6W7.9W2.6W

四个波长的激光最高功率分别可以达到、、以及，尤其是，

121.0%RMS

在小时内功率