GaN基能源通信感知一体化光电子芯片研究.pdfVIP

摘要

近20年来，人们一直在寻找新的照明光源，随着科技的发展，人们对照明的期望已经不

仅仅是提供基本的照明功能，更多的是希望照明系统能够提供更加智能化和个性化的选择。

随着第三代半导体材料的发展，氮化镓(GaN,GalliumNitride)材料在天野浩，赤崎勇等科学家

的努力下完成了从实验室研究到商业化应用的过程。基于GaN材料的光电子器件具有能耗低、

效率高、成本低、寿命长等优点，使得这种器件被应用于照明、探测等多个场景中。利用GaN

光电子器件进行可见光通信(VLC,VisibleLightCommunication)的构想，更是引起了人们的关

注和研究。

基于此背景，结合GaN/InGaN多量子阱二极管的发光谱与探测谱之间存在重叠区这一物

理现象，得出二极管可以探测到和其本身具有相同量子阱结构的二极管发出的光，多量子阱

发光二极管既可以当作光发射器又可以当作光电探测器使用这一结论。本文采用兼容的设计

工艺，在同一块GaN芯片上集成了发光二极管(LED,LightEmittingDiode)、光电探测器件和

光伏器件，制备了用于可见光通信的GaN基绿光能源通信感知一体化光电子芯片。并对其进

行形貌表征，光/电学性能表征。

为了验证芯片具有同时发光探测能力，本文使用两个相同的GaN光电子芯片分别作为发

射端和接收端搭建光通信链路，接收端在零偏置和发光时均可接收到发射端传递的光信号和

音频信号。除此之外，本文还利用该芯片进行中继通信实验，利用已调制的外部激光光源远

程照射GaN基能源通信感知一体化光电芯片，芯片中的光伏器件收集激光的能量将其转化为

电能驱动LED器件发光，同时芯片中的光电探测器接收激光的光信号并将其转化为电信号加

载到LED上，再以光信号的形式将信号传递出去。实验证实了芯片集能源、通信、感知于一

体的优秀性能，以此特性为基础，本文利用该芯片完成了无源音频信号的中继通信。为了进

一步地拓展芯片的应用场景，本文通过对芯片制备结构的改进，使其具备防水功能，完成了

水下实验，为水下物联网和水生生物可穿戴光电设备开拓了新的研究方向。本文还对芯片进

行了极端环境下的性能测试，证明了芯片在极端环境下的应用潜力。

关键词:GaN，发光探测一体，能源通信感知一体

Abstract

Inthepast20years,peoplehavebeensearchingfornewlightingsources.Withthedevelopment

oftechnology,peoplesexpectationsforlightinghaveexpandedbeyondprovidingbasiclighting

functions.Theynowhopethatlightingsystemscanprovidemoreintelligentandpersonalized

choices.Withthedevelopmentofthird-generationsemiconductormaterials,galliumnitride(GaN)

materialshavegonefromlaboratoryresearchtocommercialapplicationthroughtheeffortsof

scientistssuchasHiroshiAmanoandIsamuAkasaki.GaN-basedoptoelectronicdeviceshave

advantagessuchaslowenergyconsumption,highefficiency,lowcost,andlonglifespan,making

themsuitableforuseinlighting,detection,andotherscenarios.TheideaofusingGaN

optoelectronicdevicesforvisiblelight