TZZB 3749-2024 多级罗茨干式真空泵.docx

ICS23.080

CCSJ78

团 体 标 准

T/ZZB3749—2024

多级罗茨干式真空泵

Multi-stagerootsdrypumps

2024-07-05发布 2024-08-05实施

浙江省质量协会 发布

T/ZZB3749—2024

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I

I

II

II

目 次

前 言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4型式、型号与基本参数 1

5基本要求 2

6技术要求 3

7试验方法 4

8检验规则 5

9标志、包装、运输和贮存 6

10质量承诺 7

前 言

本文件依据GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由浙江省质量协会归口。

本文件主要起草单位：浙江博亚精密机械有限公司。

本文件参与起草单位：安泊智汇半导体设备（上海）有限公司、无锡松煜科技有限公司、上海应用技术大学、上海工程技术大学、浙江威肯特智能机械有限公司。

本文件主要起草人：陆学贵、李松波、卢冬雪、吴晓云、马明全、黄占超、宋涛、陈庆敏、侯大立、武涛、姬志国。

本文件评审专家组长：徐海平。

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多级罗茨干式真空泵

范围

本文件规定了多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。

本文件适用于工作环境温度为5℃～35℃，除单级、双级以外的多级罗茨干式真空泵（以下简称泵）。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志GB/T825吊环螺钉

GB/T1348—2019球墨铸铁件GB/T3864工业氮

GB/T5226.1—2019机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件GB/T9439—2023灰铸铁件

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件GB/T14711中小型旋转电机安全要求GB/T21271真空技术真空泵噪声测量GB/T29531泵的振动测量与评价方法

GB/T32218真空技术真空系统漏率测试方法JB/T11237—2011真空技术多级罗茨干式真空泵

术语和定义

JB/T11237界定的术语和定义适用于本文件。

型式、型号与基本参数

型式

泵的结构型式是多级罗茨转子串联在一对真空泵轴上做反向同步旋转运动，转子与泵腔间不接触，以极小间隙密封气体，多级串联的形式使气体逐级被压缩，可直排大气。

型号

泵的型号表示方法：

□□□—□□□

代表泵设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C、…顺序表示名义抽气速率，单位为升每秒(L/s)

适用工艺环境，“F”表示被抽气体为腐蚀性气体，无特指情况下可省略干式真空泵，用“G”表示

罗茨型转子多级泵，用“LC”表示

真空泵级数，以阿拉伯数字表示，可省略

示例：用于抽除腐蚀性气体，抽气速率为30L/s的五级罗茨干式真空泵，型号为“LCG—F30A”。

基本参数

泵的基本参数应符合表1的规定。

表1 基本参数

序号

型号

抽气速率L/s

/（m3/h）

极限全压力（无气镇）

/Pa

噪声a

（Lw）

/dB

（A）

额定转速

/

（r/min）

推荐配用电动机功率

/kW

进气口公称通径

/mm

推荐气镇量

/(L/min)

抽气效率/%

1kPa

时

10

Pa时

1

LCG—30A

30（100）

≤3

≤65

3000

3

63

0～15

≥82

≥21

2

LCG—45A

45（160）

≤3

≤65

3

63

0～15

3

LCG—70A

70（250）

≤3

≤75

6

100

0～15

4

LCG—170A

170（600）

≤5

≤82

22

100

0